高科技厂房消防安全设备

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1、高科技廠房消防安全設備主講人邱晨瑋防火工程設計理念無塵室製程設備之財產防護與無塵室人命安全防護並重之防火設計目標運用空調系統及排煙設備之結合，控制煙流之設計系統多重消防防護設計火災緊急應變程序避難逃生計畫國內高科技廠房三大災例場所別項目聯瑞積體電路股份有限公司天下電子股份有限公司華邦電子股份有限公司發生時間86/10/03/14：59-17：3886/11/11/08：1585/10/14/13：00人員傷亡無一人受傷無損失金額（直接損失）120億以上30億以上60億以上原因類別機器類機器類藥品類起火原因排氣管濕式清洗檯濕式清洗檯無塵室消防安全設備分級有供應製程危險氣體（

2、如晶圓廠及光電廠，潔淨等級較高）SEMIS2-2000ＦM7-7/17-12NFPA318無供應製程危險氣體（如生化科技廠及封裝測試廠，潔淨等級較低）NFPA318各類場所消防安全設備設置標準晶圓廠消防工程設計---國內外法規差異1.製程設備及輔助設施之化學系統防護（CO2自動滅火系統及FM200）2.製程設備之警報或撒水系統防護3.設置極早型預警系統，於ＲＡＰ回風處設偵測點並配合定址式高感度偵煙探測器之警報設計4.排氣風管使用耐腐蝕金屬材質或撒水防護5.製程氣體供應/儲存系統之氣瓶櫃使用火焰式探測器及撒水防護並設置於遠離無塵室之DLC防火結構內6.考量整體氣流空間因子之

3、煙控設計特殊環境特性垂直的循環空氣低溫環境與正壓系統潔淨室與潔淨室下層間有高架地板相通空間的密閉性必須保持class1至class1000等級的高潔淨度機台發生事件數統計（1977-1997）機台種類火災件數Metalization4MEBES5EPIReactor8IonImplanter10Etch12Stepper12Furnace22WetBench75火災情境–消防設備作動流程一Fab區的WetBench起火，應變人員在警報系統，或從監控螢幕取得現場實際狀況，確認火災是否發生若為誤動作----則現場將設備復歸，關閉火警警鈴，使火警自動警報設備恢復正常使用狀態若確

4、認為真實火災----即立即以無線電回報應變中心，應變中心人員在指揮官指揮下，進行緊急廣播，請整棟建築物內人員緊急疏散消防設備作動流程二FAB區的WetBench發生火災時，自動啟動該製程機台之CO2自動滅火系統；如無法控制後則假設火災於無法控制後手動啟動排煙設備並將起火區FFU降載及相遴區劃FFU增載消防設備作動流程三撒水設備作動---則依其實際撒水頭之RTI值作動，並依其實際K值放射水量；亦可大量降低熱釋放率。初期運用室內消防栓及滅火器進行搶救如廠房火災已無法控制，則由指揮官下令通知消防單位，全力入內救災。多重消防防護設計警報系統RAP回風處佈設各類經自動取樣之早期預警

5、系統（VESDA系統）定址式高感度偵煙型探測器螢幕監控系統防災中心功能製程設備之CO2自動滅火系統潔淨室之密閉濕式自動撒水設備排氣風管使用耐腐蝕金屬風管之設計極早期空氣取樣系統NFPA72一偵測器與連接器延伸至保護區域的管路所組成,偵測器內之抽氣風扇經由空氣取樣孔,取樣管路抽取保護區域內的空氣至偵測器,進而分析是否有火災生成物NFPA318無塵室應使用空氣取樣式偵煙探測器系統動作流程不可見煙霧---incipientstage可見煙霧---VisibleSmoke火焰---FlamingFire熱---IntenseHeatAlert/action/Fire1/Fire2

6、多段警報回風區drycoiler前格子樑下空調主機迴風處WetbenchImplanter無塵室VESDA系統設置位置提升防災中心人員知識與技術位置構造功能防災中心滅火系統對火源大小之影響（設計火災）以FAB層的WetBench起火是否為獨立火源CO2自動滅火系統及FM200對熱釋放率的影響CO2自動滅火系統依「各類場所消防安全設備設置標準」第84條規定應於60秒放完畢FM200依NFPA2001規定放射時間最長10sec自動撒水設備對熱釋放率的影響依RTI值及K值R＝wetBench到其他可燃物之間的分隔距離Q＝來自火災的熱釋放率（Btu/sec）q“＝非引導性點火所

7、需投射的輻射通量對於其他可燃物距離WetBench的大小均大於分隔距離，故為單一可燃物之獨立火源獨立火源PP熱釋放率曲線圖EarlySuppressionFastResponseSprinkler(ESFR)Listedforitscapabilitytoprovidefiresuppressionofspecifichighchallengefirehazards.Forstorageprotectionupto40ftbuildinghighwithoutin-racksprinklers.LowRTI[50(ft-sec