半导体、液晶行业设备材料选用介绍

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1、半导体、液晶行业设备材料选用介绍目录1.机台常用材料种类2.各种常用材料特性&应用位置1.机台常用材料种类金属类：Al-profile:铝框架；LG2:炮铜，一种优质铜合金；Al+ElectrolessNiplating：化学镀镍铝合金；SUS:SUS304/SUS440C/SUS316:不同代号的不锈钢；聚合物类：PP:聚丙烯PC:聚碳酸酯PVC：聚氯乙烯C-PVC：氯化聚氯乙烯POM:聚甲醛塑料PVDF：聚偏氟乙烯PTFE：聚四氟乙烯Nylon610：聚癸二酰己二胺Nylon612：聚十二乙烷二酰己二胺Anti-staticTransparentAcryl:抗静电透明

2、丙烯酸酯树脂；PEEK:聚醚醚酮；UHMW-PE：超高分子量聚乙烯；PET:聚对苯二甲酸类塑料MC-Nylon:单体浇铸尼龙Al-profile:铝质框架主要是铝合金型材，一般加入Mg或Mn等金属形成相应的合金，具有密度小、强度高，耐蚀性好等优点，是很好的框架材料。2.各种常用材料特性LG2:炮铜，一种优质铜合金：一种集耐腐蚀抗疲劳耐磨损于一身的优质铜合金，一般在工业上用作活动连接件。机台中把Bearinggrease的材质就是采用这种合金。Al+ElectrolessNiplating：化学镀镍铝合金利用化学镀膜方法在铝合金表面镀一层镍，具有很好的耐腐蚀能力、良好的机械

3、性能，难溶及不易与被空气氧化。（主要用于DryCVunit）SUS:SUS304/SUS440C/SUS316：不锈钢SUS304是奥氏体不锈钢，塑性较好因而其冷加工性能佳，同时因其奥氏体组织结构，无磁性，热处理难以增加其强度，其耐腐蚀性能较优；多用于制作不锈钢日用品、容器。（主要用于碱液单元、水单元传动轴、风刀本体等）SUS440C是马氏体不锈钢，机械强度较SUS304高，并且可以通过热处理来进一步增强其机械性能，有磁铁吸附的特性；多用于制作工具、刀具及其它强度硬度要求较高的用途，可制造在腐蚀环境和无润滑强氧化中工作的轴承零件。（主要用于SUSBearing）SUS31

4、6不锈钢塑性、韧性、冷变性、焊接工艺性能良好，高温强度好，耐蚀性优秀，由于含碳量低且含有2%-3%的钼，提高了对还原性盐和各种无机酸和有机酸、碱、盐类的耐腐蚀性能，同时高温性强度。(主要用于高压气体管路、药液单元等)PP:聚丙烯耐水性、化学稳定性、耐热性、成型性好等特点,机械性能较好，弯曲强度和拉伸强度接近于聚苯乙烯，刚性和延伸率好，抗应力开裂性比聚乙烯好，但耐磨性稍差；严重缺点是在氧，热，光作用下容易降解，老化，为此，应在聚丙烯塑料中加入稳定剂。（主要用于马达传动的斜齿轮处）Anti-StaticTransparentPC:抗静电透明聚碳酸酯PC是一种综合性能优良的非晶

5、型热塑性树脂，具有优异的电绝缘性、延伸性、尺寸稳定性及耐化学腐蚀性，较高的强度、耐热性和耐寒性，价格低廉；还具有自熄、阻燃、无毒、可着色等优点；但也有硬度不足容易刮花，不耐强酸，不耐强碱，不耐紫外线。（主要用于设备的Cover、door等位置）PVC：聚氯乙烯可分为硬聚氯乙烯和软聚氯乙烯。硬聚氯乙烯：不含或只含少量的增塑剂。强度较高，质硬，介电性能好，化学稳定性好，抗酸碱能力强，但耐热性不高。主要用于制造片材，板材，管材，棒材，弯头等各种型材或泡沫塑料。软聚氯乙稀：含较多的增塑剂，可塑性，流动性比硬聚氯乙稀好，制品柔软且富有弹性，抗酸碱能力强，耐寒耐光且不受氧及臭氧的影响

6、，但耐热性，机械强度，耐磨性，耐溶性及介电性不如硬聚氯乙稀。用于制造手柄，绝缘垫等结构性零件，电线电缆的绝缘层和软管。(主要用于chamber、DIWtank等)C-PVC：聚氯乙烯-CPVC经氯化而得的一种热塑性树脂，含氯量61～68%，氢原子没有全部被氯取代。溶解性、耐热性、耐寒性均比聚氯乙烯优越，不易燃烧，耐气候、耐化学药品及耐水性均优，可主要作热水上水管使用。（主要用于水、药液管路等）POM:聚甲醛塑料俗称赛钢，性质最接近金属。具有高机械强度和刚性、最高的疲劳强度、耐有机溶剂性佳、耐反覆冲击性强、使用温度范围广、良好的电气性质、复原性良好、具自已润滑性、耐磨性良好

7、、尺寸安定性优等特点，但也有加工过程若长时间高温下易起热分解、抗酸性差的不足。可用于生产工业零件：机械零件、齿轮、把手、玩具、螺杆等。（用于马达齿轮等位置）PVDF：聚偏氟乙烯偏氟乙烯均聚物或者偏氟乙烯与其它少量氟乙烯基单体的共聚物，它兼具氟树脂和通用树脂的特性，除了具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温、耐候性、耐射线辐射性能外还具有压电性、介电性、热电性等特殊性能，是目前含氟塑料中产量名列第二的产品。（外观为白色，用于需要耐氧化、耐酸碱，防离子析出等级高的单元&机构）UHMW-PE：超高分子量聚乙烯分子量极高，属于价格适中、性能优