单晶操作培训资料系列二——关于吊导流筒烤挂边注意事项

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1、单晶操作培训资料系列二关于吊导流筒烤挂边注意事项制作、培训人：朱立豪6一、烤挂边方法1.塌料之后发现有挂边，应根据情况适当上升埚位，使坩埚上端口不在加热器高温区，否则坩埚端口在高温区容易变软挂边料不仅下不来而且将坩埚端口拉变形。开始熔料埚位示意图发现挂边调整埚位示意图61.烤挂边必须待埚内的固态原料全部熔完时。原因：埚内的原料不熔完，热量只会从液体传递到漂在液面上的固态原料，挂在坩埚边上的原料相对吸收的热量很少，就不会使热量集中，不利于挂边烤下来。2.根据挂边的位置将埚位下降，把挂边地方停靠在加热器两腿部的方位，功率迅速上升5-10kw，最好在90-95kw之间，但功率最高不得

2、超过100kw。3.导流筒位置下降5-10公分左右（原理见示意图）。导流筒下降使热量从外导流筒反辐射到挂边料上，热量集中的很快，挂边很容易烤下来。注意：导流筒不能接触到挂边料。66二、烤挂边需要注意的事项：1.硅跳：局部温度过高，坩埚内液面会产生沸腾现象。措施：一旦发现轻微硅跳，适当开打氩气流量，硅跳严重时可以将氩气流量继续增大，同时迅速降低功率，适当上升埚位。2.坩埚拉变形预防：发现挂边时应注意不要低温烤挂边（功率低于88kw）.其次.不允许埚内原料未熔完就急着烤挂边，更不允许在熔料时给埚转。三、如何预防挂边1.装原料时注意坩埚端口不可以硬挤硬塞。2.头尾料.边皮料尽量不可以

3、装坩埚端口边缘，即使装时也要敲碎。注意，头尾、边皮料敲碎的块状尺寸不能超过5公分。3.注意埚位的调整，低埚位熔料会增加挂边机率，熔料过程中需要多观察调整，一般塌料后发现挂边应及时升高埚位（见示意图）。6注意：以上热场示意图仅仅是根据一般热场图示，一般熔料在最低埚位时坩埚底部位置最好比低温区域40还要稍微高10-20mm为最佳，这样确保坩埚底部熔料时在高温区，防止刚开始高温熔料阶段（从加热到高温3-4小时内）硅熔液容易汇集在坩埚底部因低温二次结晶撑破埚底而发生漏硅事故。2011年8月6