单晶炉操作注意事项

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1、单晶炉操作注意事项一、装料准备/方法/原则1．安全及准备：1.1小心防止锐利的多晶划伤手制或其它部位。1.2禁止在炉内温度很高的情况下开始装料。1.3认真检查上炉单晶拉制及设备运行状况以及水、电、气是否符合开炉条件。装料前应检查：项目开炉标准、水压：不低于0.15MPa，不高于0.3MPa氩气压力:0.1~0.2MPa热检：<0.6Pa/5min炉子极限真空度:<6Pa/40min机械运行正常各种电器仪表显示及运行情况正常1.4严格禁止不检查热场系统，不擦炉装料。应检查：加热器已使用炉数加热器化料电压(是否偏高)加热器是否打火，电流电压无摆动石墨坩埚已使用炉数、石墨坩埚无裂缝、磨损，与石英坩

2、埚缝隙是否过大石墨坩埚外壁无较厚挂有硅晶层石墨电极板无打火迹象石墨电极板与加热器、不锈钢电极连接无松动石墨电极板无裂纹、损伤石墨托杆旋转时无松动、摇摆、损伤1.5禁止不检查石英坩埚就放入炉内.对于石英坩埚应做如下目检:石英坩埚无触痕(暗伤)/裂纹/划伤/变形/厚薄不均石英坩埚没有附着物/喷溅物/指纹/斑点石英坩埚内表面无粘污膜/变色石英坩埚内表面无失透点/大气泡>3mm/气泡群>3个/cm2石英坩埚上口是否无明显的切磨加工缺陷与指令单上的型号一致1.6核对运行号/目标电阻率/装料量/掺杂量等保持一致1.7检查籽晶型号/完整性一致/完整2.操作人员装炉时，班长应在现场监督和指导。并遵循一下三原

3、则：2.1装料时必须轻拿轻放，体现一个“轻”。2.2带上无尘手套后除拿料外不能接触其它物品,体现一个“洁”。2.3料放置要稳妥、均匀.禁止反复多次摆放，体现一个“稳”。3.装料前.埚位应上升到较高的位置,3.1禁止低埚位装料3.2禁止旋转坩埚3.3禁止不带口罩喧哗/触摸石英坩埚内壁3.4禁止向石英坩埚内倾倒多晶硅/赤手抓取多晶4.根据料块的形状和大小，可按一下原则放料：4.1装料前，把要装的料全部观察一遍，掏出大块料，若有回熔料，与回熔料放在一起进行破碎后方能装料。4.2大块料的放置4.2.1大块料的上边沿一定要低于熔体水平线4.2.2超过1.5kg的块装料包括回熔料必须进行破碎方能装料4.

4、2.3大块料沿石英内壁摆放,然后放入掺杂剂,再把小块料放里面4.2.4料块尖锐的部分不能朝向石英坩埚壁，更不能有接触点，只能用平坦的面接触石英坩埚壁。╳╳(a)C(a)(b)料块尖锐的部分朝向石英坩埚壁/禁止(c)正常/可以4.2.4装完料后,清除石墨热场内散落的硅渣.5．籽晶检查及安装方法5.1检果籽晶是否过短，籽晶表面是否有损伤，上炉拉制时籽晶有无吃渣现象，首先用钳子轻轻铰去受损部分，观其长度是否可用，否则更换。班长做好更换详细记录并签字。5.2安装籽晶方法：戴无尘手套去掉籽晶重锤（去掉重锤后严禁籽晶软轴升降操作，否则会出现软轴脱槽导致设备损坏、拉晶报废重大责任事故），取下籽晶固定销，插

5、入籽晶后轻轻将销钉装入重锤同时籽晶轻轻上下移动，待销钉位置完全进入后轻拉籽晶确定籽晶在最低位置。用纸和酒精将籽晶和重锤擦式干净后将重锤安装在软轴上。5.3籽晶安装完毕后，将上轴以最快的提拉速度升降两次。检查籽晶在升降过程中是否有停滞、晃动、限位失控等异常现象。若出现异常应立即通知维修和班长并停止下一步操作。5.4取棒时向下拉紧重锤，用钳子轻轻铰断籽晶细颈区并防止重锤上跳和旋转否则会造成人身伤害和损坏设备，待籽晶稳定后方能松开重锤。5.5软轴检查注意事项:每次取棒后必需检查籽晶卡头与鵭绳软轴连接处有无毛刺、松箍、烧损等不良现象,若发现后应立即通知维修并进行更换,每月第一次大清后必需更换软轴。严

6、格防止晶体拉制过程中出现掉棒等恶性事故,班长要对更换炉台进行统计与记录。二、抽空/检漏注意事项：1．抽空要求40分钟内抽至50MT以下。否则进行以下检查：1．1重新进行驱气程序并抽空。1．2打开单晶炉和过滤器并检查其“O”型环安装情况，用酒精擦干净进行二次安装，若“O”型环损坏则通知维修更换。1．3检查真空泵和泵油有无异常。若泵油较少，则添加适量泵油。若泵运转异常通知班长填写维修申请单。2．检漏要求按MOP严格执行。三、化料/稳定1．驱气后进入化料程序，操作方法按MOP要求做。由于化料需要很长一段时间也是单晶拉制中高事故率和不可逆转的一道工序。在此期间操作工要对其进行严密监控，通过观、听、触

7、、闻及时发现异常点（包括水、电、气、泵等）。操作人员不得在此期间离开岗位。1.1在加热前每位员工要养成点检习惯，是否热场装到位，籽晶、掺杂剂是否安装好。1.2化料过程中要核对埚位，密切注意埚位的变化。2．化料完毕后进入高温挥发。挥发程序并不是必需，依据工艺要求进行并按MOP执行。挥发完毕后进入稳定。2.1挥发功率不得高于化料功率。时间不得超过工程师要求。2.2处理挂边功率不要过高，避免石英坩埚高温变形。2.3