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1、半導體廠設備工程師人員安全注意事項半導體廠設備工程師人員安全注意事項"s4p91i5E5L#{林義凱工程師*h)R2M%x'Y'
2、7l台灣積體電路製造股份有限公司三廠工安環保部.K)W+F;X1u!A摘要 J N%^3c-E半導體業對台灣整體市場影響力非常大，積體電路製造過程使用非常多化學1L/t ^-Om*b%G品及有害氣體，主要設備單位包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、DryEtch、1r1u#N6[_)M0U8k2Y7hWetEtch、Photo。為了讓工安人員、設備人員能夠充分的了解在FAB
3、內所處之1n/Q/i$T+`8`'R%N0Y工作環境及在工作時需特別注意之安全事項，茲將設備人員所負責之機台及該注7d1j0}4g/F.C意之安全事項，加以彙整說明，以確實加強改善半導體廠設備工程師人員之安)T%P M#l5I'?4c D-w全，避免人員意外事件發生。 o7])?*E"U4~4y:W.D一、工作安全之基本觀念3F,S!m.P;i5q7j一般工作現場中主要安全基本觀念包括以下數點：-z"u-S+O:U3U4F"L（一）安全是工作的一部份，我們有義務要把安全做好。*v0O0B;D,G'X*T（二）依據國際安全評
4、分系統(ISRS)所統計之意外事故比率：:E!L7[d9i)?8S Z2Z每６００件虛驚事故，就會伴隨３０件財物損失之事故，並產生１０件輕'Q9A7].F$G微傷害事故，最後可能產生１件嚴重傷害事故。!I*x!Q(o;_8s4C/A5N（三）任何意外事故發生，均是由日常工作中不安全的行為或不安全的環境所造p(^7^"$B成。*q5?4h"K!J4x+M:?(V'G+K6t（四）落實安全管理是主管的必修課程，不是在事後補救；預防勝於治療。7o8h-m-x6u-A#H（五）只要是涉及安全，你唯一能相信的是你自己，你必須有百分之百
5、的把握，4m"x!~8l8P!_.~;{你所做的任何行為或動作沒有任何安全顧慮。所有工作人員，都必須有預:]*l0b't8f知危險之危機意識。"Z)R0Ct g5s E,j（六）從事任何工作，你首先要考慮的是你自己本身的安全，再來是週遭的人身#m,I*V7D.}?-f.[(c"J+^安全，其次才是機台與產品的安全。/e9[ @1[-7@（七）擔任維修及保養工作時，若你發現你不夠清楚，請立即停止進行中的工作。0X;G1]"v-B1o3B,k(r#p.（八）凡事務必遵守標準程序(SOP、PMProcedure、Troubl
6、eShootingGuide)。*o6N.Y4D7D9[從事特定維修工作，請確實按照規定穿著標準防護用具。%j6v/P5k8[[;l二、設備人員維修/保養工作通則6P8b0U)a7q9
7、8A"W%R;j半導體廠中設備人員維修、保養時易造成人員安全疑慮，因此凡於無塵室內'L"y:q%jF)z.D4u+@從事PM及維修工作時，均應遵守下列規定事項，以確保安全且整齊之高品質工2r(w:C"w8d!K4~作環境。,Z5n l B4a5Q)i;{3p(一)安全事項：3p0o$X:G T7t8M1、任何操作均以安全為第一考量。7h!R
8、1d,aj9e#L2、設備維修時，必須掛上維修中警示牌，以防止他人誤動作。9l9P'e;M;H"{6l9d(i3、PM維修中，如需佔用走道或掀開高架地板，工作人員必須將施工區域用圍9z"q)R9u:P*Q;Z欄區隔，以防止危險發生；掀開高架地板作業完畢，地板蓋回後，必須確認!iq0W6X$W9E2C)[/p地板間是否平整，以維持無塵室內作業安全。2W$I.J6` j${;l,R!^4、PM維修時，若有接觸化學品或有害氣體之虞時，必須依照標準Procedure7F*d9D8A5k*~'R做好安全防護措施，以保護本身及他人之安全。
9、R5x+B3C _5、PM維修中如需要使用附屬設備，如工作台車、HouseVacuum時必須擺放適!J+e7L,Y6y;W當之安全位置，以防止人員絆倒產生危險。1B ]-]$a(Z,Y*c5@6、使用IPA、H2O2、DIW須用小瓶罐裝，人員離開時須放回鋼瓶座內。/j!~:Q#V#r4k%j7、執行維修保養工作時，務必特別注意機台零件及工具銳角對人身可能造成之5e$o2p8G.[5H7
10、傷害。7B2Q4
11、.f2c5U0x'_,s0k(二)操作整齊注意事項：!n)A-[-g4S c;I9?1、任何操作均應隨時保持高品質之工作
12、環境。E$@"e)K9M:
13、:[1N/z6z2、PM維修拆下之零件，不可放置機台或地面上，必須放置維修台車上或指定*R K7R$j.G,C)T4l5u#e7B收納置物箱內，螺絲須放入螺絲盒內，如Parts體積龐大須暫放地面，應放4i%D+y'VO置安全，不得妨
