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《飞秒激光微加工中轴向超分辨相位板的设计及仿真》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第!"卷第"期应!用!光!学9).:!";):"#$%&年'月()*+,-.)/011.234516278<31=#$%&文章编号!%$$#>#$?#!#$%&"$">$'$?>$&飞秒激光微加工中轴向超分辨相位板的设计及仿真蔡建文%!#!!!%:常州工学院光电工程学院$常州#%!$$###:常州现代光电技术研究院$常州#%!$$##!:常州市光电子材料与器件重点实验室$常州#%!$$#"摘!要"为了提高激光微加工质量!对激光焦斑进行整形!采用菲涅尔衍射公式进行了理论分析!基于遗传算法和设计约束条件通过K-6.-L设计了两种二元相位元件!$
2、>"结构四环相位板的归一化半径尺寸!%M$"%"#!#M$"E$#!!M$"?%!非$#"结构四环相位板的归一化半径尺寸为!%M$"#"#!#M$"&'?#!!M$"@"#!从内到外各环对应的相位为#:?E'#!:$?E#$#!:$%#!采用这两种位相板调制后的纵向光斑大小可压缩至艾丽斑的E@N和E"N!峰值能量比分别为$:!'和$:&#!旁瓣能量分别为$:@&和$:&%!这两种相位板均可应用于飞秒激光微加工$关键词"微加工%轴向超分辨%相位板%飞秒激光%优化算法中图分类号!O;#&'#5@&&!!!!文献标志码!0!!!!!"#'%$:"
3、E@?((05#$%&!":$"$E$$!$%&#'()(!&#*+,)-#"(".)/#),&+0%121%&",3%!04)&%0,)-%#(.%*-"&%5"(!,)&%1*#51".)61#5)-#"(%$#$!A-2(2-,J3,!%:<7P)).)/QP)6)3.376+27G,R2,33+2,R$AP-,RSP)*T,8626*63)/O37P,).)RU$AP-,RSP)*#%!$$#$AP2,-##:AP-,RSP)*T,8626*63)/K)43+,QP)6)3.376+27O37P,).)RU$AP-,RSP)*#%!
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8、#$%&>$@>$@基金项目!常州现代光电技术研究院开放课题!ABCD$$?"作者简介!蔡建文!%'E?F"$男$江苏常州人$博士$副教授$主要从事激光微加工与存储%计算机控制技
