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《超高斯相位型光瞳滤波器轴向超分辨性能_何毅》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第30卷第9期光学学报Vol.30,No.92010年9月ACTAOPTICASINICASeptember,2010文章编号:0253-2239(2010)09-2568-05超高斯相位型光瞳滤波器轴向超分辨性能何毅张雨东李国俊王炯罗先刚(中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610209)摘要研究了超高斯相位型光瞳滤波器的轴向超分辨性能。通过数值模拟,使用新的参数T,w讨论确定了三区二元相位型光瞳滤波器的超分辨区域。将超高斯相位型与二元相位型滤波器对比,分析相同参数下两种光瞳滤波器的轴向
2、超分辨能力,进而讨论超高斯相位型滤波器的轴向超分辨性能随其阶数的变化关系。超高斯型滤波器与相位型相比,超分辨能力略有降低,但其旁瓣能量也有所降低,因此能量利用率有所提高。关键词成像系统;超分辨;光瞳;滤波器;超高斯中图分类号O539文献标识码Adoi:10.3788/AOS20103009.2568AxialSuper-ResolutionEffectsofSuper-GaussianPhaseFiltersHeYiZhangYudongLiGuojunWangJiongLuoXiangang(StateKeyLab
3、oratoryofOpticalTechnologiesforMicrofabrication,InstituteofOpticsandElectronics,ChineseAcademyofSciences,Chengdu,Sichuan610209,China)AbstractAxialsuper-resolutioneffectsofsuper-Gaussianphasefiltersarestudiedindetail.Newparameters(T,W)areusedtodeterminethesuper-
4、resolutionregionofthreezonesannularbinaryphasefilterthroughnumericalsimulations.Axialsuper-resolutioneffectdifferencebetweensuper-Gaussianphasefilterandannularbinaryphasefilterisdiscussedonconditionofthesameparameters.Theaxialsuper-resolutionresponseofsuper-Gau
5、ssianphasefilterswithit′sindexisalsostudied.Comparedtoannularbinaryphasefilters,thesuper-resolutionofsuper-Gaussianphasefiltershasaslightdecline.Whereasit′sside-lobesalsohasalittledecrease,energyutilizationrateincreases.Keywordsimagingsystem;super-resolution;pu
6、pil;filter;super-Gaussian1引言超分辨光瞳滤波器主要分为振幅型、相位型和复振幅型等几种类型。在早期的研究中,主要以振1952年,Toraldo将超分辨天线的概念引入光[1,11]学领域,首次提出光瞳超分辨的概念[1],指出在系统幅型为主,振幅型光瞳滤波器具有结构简单,容的出瞳处加一块超分辨光瞳滤波器,可以在花费较错性好等优点,比较容易在光学系统中实现。然而能量利用率较低的缺点,大大限制了这类滤波器在小、对系统做很小改动的条件下,有效地提高系统的成像系统中的应用。20世纪90年代以来,纷纷把空间
7、分辨率。1988年C.S.Chung等研究了非均[12～14]匀振幅型光瞳滤波器,指出其可以用于对系统点扩目光转向相位型滤波器,与振幅型滤波器相比,相位型滤波器具有能量利用率高等诸多优散函数(PSF)进行改造,以得到切趾、超分辨的效[12]果[2]。切趾型光瞳滤波器主要用于对激光进行光束点。然而,使用相位型滤波器的光学系统的点扩匀滑[3],或用于减小成像系统的像差[4,5]。但光瞳滤展函数(PSF)旁瓣能量一般较高,会降低系统的成波器最广泛的应用是产生超分辨效应[6],不同的超像质量,为了克服这个缺点,近年来逐渐关注
8、复振幅[15]型超分辨光瞳滤波器。超高斯型光瞳滤波器是分辨光瞳滤波器有不同的应用领域,如共焦扫描显微镜[7～9]和光刻[10]等。复振幅型光瞳滤波器的一种,目前对其的研究还较收稿日期:2009-11-02;收到修改稿日期:2009-12-25作者简介:何毅(1983—),男,硕士研究生,主要从事光学超分辨技术方面的研究。E-mail:heyi9
