如何选择INFICON真空计

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1、如何选择INFICON真空计一，皮拉尼真空计1.皮拉尼真空计原理加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系2.衍生出两种类型的皮拉尼规1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICONPSG500）2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）3.气体的热传导，与下列提条件有关:1，气体类型2，压力大小4.皮拉尼真空计测量范围与精度测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：

2、5x10-4至1000mbar-3精度(氮气):1x10…100毫巴±15%-4-35x10…1x10毫巴±50%100...1000毫巴±50%5.皮拉尼真空计的优特点灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命6.皮拉尼真空计具体型号òPSG050/051òPSG100-SPSG101-SòPSG500/500-SPSG502ò皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400PCG410PCG5501.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起2.两种原理的规管全过程都工作3.

3、100mbar—1000mbar使用薄膜规信号4.1mbar–100mbar两规信号同时采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃7.皮拉尼真空计应用行业ò各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业ò各种中低真空测量，如照明，冶金ò真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG100òPSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216òPCG400PCG410(现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已经停产

4、)与PSG500基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用òPSG100PSG101，与PSG500/PSG050基本相同，但因为具有通讯协议功能，在大系统中应用广泛二，电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/2001.电容薄膜规工作原理ò压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系ò通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度2.电容薄膜规特点ò以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成ò在严酷和腐蚀性环境中,

5、稳定与可靠的高精度压强测量ò快速的预热和恢复时间,提高生产率ò卓越的长期稳定性,再现性和重复性ò由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性ò对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定ò快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态ò一键按钮:调零功能和设点调整ò抗腐蚀超纯陶瓷传感器ò能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象ò暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀ò对蒸气介质不敏感ò先进的传感器屏蔽(专利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命3.INFIC

6、ON陶瓷技术ò陶瓷技术的优越性1，无“记忆”效应2，陶瓷无疲劳问题3，最好的温度补偿4，卓越的零点稳定性ò低使用成本1.非凡的使用寿命2.无需隔离阀4.SkyCDG025D测量范围5.加热型薄膜规6.加热型优点ò零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）ò更高的精度ò环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响ò比工艺更快的预热启动时间’ò快速恢复时间大气压<1minwithin5mVò任意安装角度ò抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响7.电容薄膜规的应用要求高的应用条件下，精

7、确而快速的压强测量ò用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NS

8、PC12000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。ò资料贮存和显示器制造设备ò工业真空设备ò常用高精度真空测量三，热电离规1.热电离规原理Richardson效应:高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出2）离子流的大小与气体压力成比例关系2.两种类型热电离规3.热电离型复合规òHPG400òBPG400/-SP/-SD/SRòBPG402ò