真空计算常用公式

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1、真空计算常用公式1、玻义尔定律体积V，压强P，P•V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2＝V2/V1）2、盖•吕萨克定律当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常数）当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。3、查理定律当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。4、平均自由程：λ＝(5×10-3)/

2、P(cm)5、抽速：S＝dv/dt(升/秒)或S＝Q/PQ＝流量(托•升/秒)P＝压强(托)　　V＝体积(升)t＝时间(秒)6、通导：C＝Q/(P2-P1)(升/秒)7、真空抽气时间：对于从大气压到1托抽气时间计算式：t＝8V/S(经验公式)（V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。）8、维持泵选择：S维＝S前/109、扩散泵抽速估算：S＝3D2(D＝直径cm）10、罗茨泵的前级抽速：S＝(0.1~0.2)S罗(l/s)11、漏率：Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏－系统漏率(mmHg•l/s)V－系统容积(l)P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)P2－真空室经过时间t

3、后达到的压强(mmHg)t－压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择：S＝Q1/P预(l/s)S=2.3V•lg(Pa/P预)/tS－机械泵有效抽速Q1－真空系统漏气率(托•升/秒)P预－需要达到的预真空度(托)V－真空系统容积(升)t－达到P预时所需要的时间Pa－大气压值(托）13、前级泵抽速选择：排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnSg≥PgS或Sg≥Pgs/PnSg－前级泵的有效抽速(l/s)Pn－主泵临界

4、前级压强(最大排气压强)(l/s)Pg－真空室最高工作压强(托)S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)14、扩散泵抽速计算公式：S＝Q/P＝(K•n)/(P•t)(升/秒)式中：S－被试泵的抽气速率(l/s)n－滴管内油柱上升格数(格)t－油柱上升n格所需要的时间(秒)P－在泵口附近测得的压强(托)K－滴管系数(托•升/秒)K＝V0•(L/n)•(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升)L－滴管刻度部分的长度(mm)n－滴管刻度部分的格数(格)Υ0－油的比重(克/厘米3)Υm－汞的比重(克/厘米3)Pa－当地大气压强(托)△Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容积(升

5、/格)15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104)(l/s)式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv为容积利用系数(一般取95％)。16、O型橡胶槽深B＝0.7DD为橡胶直径，槽宽C＝1.6B17、方形橡胶槽深B＝0.8AA为方形橡胶边长，槽宽C＝1.67B选用真空泵时，需要注意下列事项：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正

6、确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而

7、三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，