净房操作管理及经典防护

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1、LCD项目部2002-6净房操作及管理规范1主要内容一基本术语二净化的一些基础知识三净化房的设计四净化房的管理五静电防护21净房(CleanRoom)是指一个着重清洁管理,空气中悬浮粒子浓度受控的空间,在这空间中保证空气中浮游微粒子满足规定的净化等级,所使用的材料、药液也要保持一定的清洁度,而且根据需要,对温度、湿度、压力等环境条件加以监督和管理。一基本术语控制的因素包括温度、湿度、压力、清洁度、静电对策、唤气次数、吹出风速、噪音、保养频度、作业衣等级、人员数。32洁净度(Cleanliness)指每立方英尺的空气

2、中含有大于0.5μm直径的尘埃数量。由于LCD(液晶显示器)的盒厚间隙极其微小,只有4~8um(微米),而人的头发丝直径一般是几十微米,空气中能看到的粉尘一般也是十几个微米以上,同时还有许多看不到的尘埃。如果在制作LCD时有一些看得见或看不见的尘埃、杂质落在屏上,就会被污染,造成显示缺陷。这就决定了LCD的生产过程是必须在高度清洁的环境下进行.43高效空气过滤器(HEPA)(HighEfficiencyParticularAirFilter)在额定风量下,对粒径大于等于0.3um粒子的捕集效率在99.9%以上及气流

3、阻力在250Pa以下的空气过滤器。4自净时间(CleanlinessVecoverylyCharacteristic)洁净室被污染后,净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。55空态(as-built)设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。6静态(as-rest)设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员。6动态(operational)设施及生产设备按规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。6二净化的一些基础知识大气中

4、的含尘浓度789灰尘的特征和来源灰尘按形态分为:固态、液态、气体和其他其他:光、电磁噪声、静电、振动、细菌等;气体:烟、呼气、各种溶剂;液体:人的汗水、水、油等;固体:人体的头发、皮屑、衣服的纤维、美容的面粉粉底、垃圾、粉末、各种材料的粉末;10灰尘的特征和来源灰尘的类别按存在的位置划分:人体携带内部灰尘;附着灰尘;浮游灰尘;大气灰尘;地面灰尘;内墙壁灰尘;摩擦灰尘;11灰尘的特征和来源人体、衣物、设备、建筑物和外部空气灰尘;人体脱落微粒子:21亿个/日(大于0.3μm)126亿个/周(工作日)1213作业者的行动

5、使污染增加程度14≥0.5um颗粒数(pc/min.p)一般工作服白色无菌工作服全包式洁净工作服静站339,000113,0005,600静坐302,000112,0007,450腕上下运动2,980,000300,00018,700上身前曲2,240,000540,00024,200腕自由运动2,240,000289,00020,500脱帽1,310,000头上下左右631,000151,00011,200上身扭动850,000267,00014,900曲身3,120,000605,00037,300踏步2,30

6、0,000860,00044,800步行2,920,0001,010,00056,00015洁净室粒子来源分析16三净化房的设计17在净化室进行灰尘的收集是HEPA过滤器0.3μm以上的粒子捕集率为99.97%以上,使大多数粒子不能通过。净化系统净化系统18净化空气的循环方式HEPA空调机垂直层流19HEPA空调机水平层流20HEPA空调机乱流21净化空气的循环方式各种气流方式比较2223混合段:可根据需要安装对开风量调节阀,使新风和回风按一定的比例在空调箱内混合,可供选择的控制方式有:手动、气动和电动三种型式。为

7、了配合空调系统集中控制的需要,空气处理机可以配置比例式电动风阀并可实现系统控制。冷却段:表冷器安装在冷凝水盘上,当表冷器呈双层布置时,上层的表冷器也可配有一个冷凝水盘,避免上层表冷器的冷凝水流到下层表冷器的翅片上,影响热交换性能。加热段:MDM空气处理机可配置热水加热盘管、蒸汽加热盘管及电加热功能段。加湿段:通常空气处理机的加湿形式有:干蒸汽加湿、高压喷雾加湿、湿膜加湿器和电极式加湿,也可根据用户的需要选择其它的加湿形式。24风机段:风机采用前倾,后倾,机翼型三种型式,风机配有进口轴承,风机和电机安装在共用的底座上

8、并配有优质的弹簧减震器;出风口和箱体之间用帆布连接。从各个方面消除震动和噪音。使风机运转更为宁静。阻性消声段:配阻性消声器并可根据消声量的需要来选择消声器长度。过滤段:根据除尘的要求,空气处理机可配置板式过滤器和袋式过滤器,也可根据用户的需要选择其它型式的过滤器。25四净化房的管理净房里的粒子是肉眼看不见的,用手摸不着的,因此也是最危险的!!!维持净化洁净度

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