《静电防护培训》PPT课件

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1、静电防护(ElectrostaticDischargeESD)制作人:肖志敏大纲物质的原子模型静电基本概念静电危害静电是怎么产生的静电防护物质的原子模型物质是由原子组成的。原子由带正电、质量重、不易移动的原子核,与核外带负电、质量轻、绕原子核运动的电子所组成。原子核的总正电量与核外电子的总负电量大小相等。物体带电是因为在外界因素的作用下最外层电子发生了转移(电荷分离)。---+例如:我们所熟知的氧气(O2)就是由氧原子(O)组成的,氧原子又是由带8个正电荷的氧原子核和8个带负电的核外电子组成。氧原子的电子是分为两层的,第

2、一层为2个电子,第二层为6个电子。由于氧原子的特性很容易从别的物质上得到2个电子,所以氧原子一般是带2个负电荷。物质的原子模型静电基本概念静电:物体表面静止的电荷。电荷(静电荷):当对物体施加一定能量时,使本来正负电荷量相等而处于中性状态的物体变成其中任何一方过剩的状态,这过剩的电量就称为电荷(静电荷)静电的实质是存在剩余电荷。电荷是所有的有关静电现象本质方面的物理量。导体与绝缘体导体:若原子核最外围的电子,所受的束缚力很微弱,则电子容易脱离原子核的束缚而自由地运动,称为自由电子,这一类的物体容易导电,称为导体,例如铜、

3、铝、......等。绝缘体:原子核和核外的电子彼此间的吸引力强,则电子不易脱离原子核的束缚,因此不易导电,称为绝缘体,例如玻璃、毛皮......等。半导体:电荷移动能力介于导体与绝缘体之间,如锗、硅。在低温时为绝缘体,高温时为导体,且导电性随温度升高或加杂质而升高。电阻:物质阻碍电流传导的特性(单位:欧姆Ω)。材料的电阻值与抗静电性导电材料阻值<105欧106欧<半导体材料阻值<1011欧绝缘体材料阻值>1011欧制程为什么要进行静电控制避免碎屑的吸附。减低元件被破坏的机率。减少产品失效或者运作不稳定。减少静电放电造成损

4、失。静电对IC造成伤害人体平常所感应的静电电压在2KV以上,通常是由于人体的轻微动作或与绝缘物的磨擦而引起的。也就是说,倘若我们日常生活中所带的静电电位与IC接触,那么几乎所有的IC都将被破坏,这种危险存在于任何没有采取静电防护措施的工作环境中。静电对IC的破坏不仅体现在电子元器件的制造工序当中,而且在IC的组装、远输等过程中都会对IC产生破坏。静电对IC造成伤害隐蔽性:除非发生静电放电,人体不能直接感知静电,但发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉,这是因为人体感知的静电放电电压为2~3kv,所以静电具有隐蔽性。潜在性

5、:有些会受到静电损伤后的性能没有明显的下降,但多次累加放电会给IC器件造成内伤而形成隐患。因此静电对IC的损伤具有潜在性。静电对IC造成伤害随机性:IC什么情况下会遭受静电破坏呢?可以这么说,从一个IC芯片产生以后一直到它损坏以前,所有的过程都受到静电的威胁,而这些静电的产生也具有随机性,其损坏也具有随机性。复杂性:静电放电损伤的失效分析工作,因微电子IC产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费财,要求较高的技术并往往需要使用高度精密仪器,即使如此,有些静电损伤现象也难以与其它原因造成的损伤加以区别;使人误把静电放电

6、损伤的失效当作其它失效,这在对静电放电损害未充分认识之前,常常归因于早期失效或情况不明的失效,从而不自觉地掩盖了失效的真正原因。所以分析静电对IC的损伤具有复杂性。静电对IC造成伤害静电对IC造成伤害下表所示:500静电是怎样产生的当两个不同的物体相互接触时就会使得一个物体失去一些电荷如电子转移到另一个物体使其带正电,而另一个体得到一些剩余电子的物体而带负电。若在分离的过程中电荷难以中和,电荷就会积累使物体带上静电,任何两个不同材质的物体接触后再分离,即可产生静电。--(电荷分离产生静电)。電荷分離產生靜電工業生產中,靜

7、電常伴隨各種作業過程中(如管路輸送、容器中傾出或流入容器中、攪動、混合、噴出、乾燥、粉碎、篩選、滾輪傳送、剝離、人員走動)。物質間相互摩擦、傳導或感應而產生,至於製程的設備或產品是正帶電或負帶電則需參考物質帶電序列表。製程帶電的起因用最微觀的角度來看待,皆是能量的交換使電子移位。而兩物質之接觸、分離是最大的主因。在生產製程中即多稱其為「剝離帶電」、「磨擦帶電」。摩擦带电定義:當兩個不同的物體互相摩擦時,一些電子從一個物體轉移到另一個物體,使兩物體皆帶電,此種方式稱為摩擦带电結果:較易失去電子的物體帶正電,另一物體獲得電子

8、則帶負電。摩擦带电常见的动作引起的静电摩擦带电典型的静电源:剥离带电两个紧密接触的物体,在外力作用下迅速分离一些電子從一個物體轉移到另一個物體,使兩物體皆帶電,此種方式稱為剥离带电結果:物体較易失去電子的部分帶正電,另一部分獲得電子則帶負電。电荷累积一般人造聚合物具有高绝缘、高电阻的特性,能蓄积静电荷很长的一段时间,

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