《静电防护教材》PPT课件

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1、静电防护培训教材目录一、静电产生及对电子生产制造业的不良影响二、静电防护原理三、电子生产使用环境中的防静电系统构成四、静电敏感器件生产与操作系统管理五、电子产品制造与应用系统防静电检测ESD培训教材一、静电产生及对电子生产制造业的不良影响1、静电的产生与静电效应通常任何物体所带的正负电荷是等量的，当与其他物体发生摩擦、接触，并由于机械作用分离时，因两种物体摩擦起电的序列不同。在一种物体上积聚正电荷，另种物体则积聚负电荷，在各物体上产生静电，并在外部形成静电场。ESD培训教材等量异种电荷失去电子带正电获得电子带负电演示说明静电序列：1、人手10、硬橡胶2、玻璃

2、11、醋酸人造纤维3、人发12、聚酯4、尼龙13、明胶5、毛皮14、聚氨酯6、丝绸15、聚乙烯7、纸16、硅8、棉布17、聚四氟乙烯9、木板＋－摩擦（1）静电产生的电场力：物体产生静电后，在周围形成静电场。位于电场中的任何物体都会受到电场力的排斥或吸引。库伦法则：①同种电荷相互吸引、异种电荷相互排斥②实验证明：一般绝缘体或电介质产生静电后，这样的静电力对于毛发、纸片、尘埃、纤维的吸附能力非常明显（2）静电放电（ESD）：当某些电介质、导体带上静电后，尽管电量不多，但由于自身对大地分布电容非常小，使得静电点位非常高。当垂直于带电物体表面的静电点位大约2000伏

3、时，可向空气放电。对于人体静电放电，通过实验可以得知最小放电能量也可以达到3.12×10焦尔。瞬间的放电电流峰值可以达到几安培以上。（3）静电感应：当导体和电介质置于静电场中，在其上感应出正或负静电荷。静电点位可达数千伏以上。这样高的静电压能对电子仪器造成不良影响。ESD培训教材静电荷所产生的静电场的物理效应ESD培训教材静电对电子生产制造业的危害甚大2、静电对电子生产制造业的危害（1）吸附尘埃：（2）静电放电：静电放电可使集成电路芯片介质击穿，芯线熔断，漏电流增大加速老化，电性能参数改变等等。静电放电对芯片损坏具有潜在和缓慢失效性，这种情况危害性较大静电吸

4、附尘埃对微电子生产业影响很大，在现代大规模集成电路（LSI)生产中，芯片的线宽已达到0.1微米。如果其产生静电则对几~几十微米的尘埃吸附作用明显。一颗直径几微米尘埃吸附在芯片上，即可造成几十根芯线之间的绝缘强度降低，造成短路使芯片损坏。（3）静电感应：静电感应不但具有静电放电的危害性，而其感应放电产生的宽频带干扰客队计算机和电电品数字电路发生翻转效应或导致仪器运行失常。静电放电对元器件损害的耦合途径静电对电子生产制造业的危害甚大图1-3：ESD耦合途径ESD培训教材（4）静电对电子工业造成损害的典型事例全世界在上世纪八十年代因静电造成飞机、油船、化工厂、油库

5、发生声爆炸或者燃烧所造成的年损失近二百亿美元。而在电子行业对元器件造成的损失更大，原因在于爆炸事件往往能够引起有关方面的注意，而静电造成电子器件损坏往往不会对人们造成危害，同时不易被人察觉。因此从某种意义看，电子行业的静电问题更具有危害性。1、日本曾对不合格的电子产品进行过解析。发现器件不合格的45%是由静电造成的。美国也曾在上世纪80年代初作过统计，它的电子工业每年由于静电造成的损失高达100亿美元。英国经过数年调查了解到，该国上世纪七、八十年代的电子产品，每年因静电造成的损失为20亿英镑。2、航天部门北京某所实验室在1992年初组装调试我国“资源卫星”上

6、使用的一种仪器时，因人体静电放电导致2只价值6000美元的进口并遭禁运的CCD器件（一种MOS器件）失效，几乎影响卫星的发射进程。3、航天部门北京某厂在生产一种“长征三号火箭”用仪器时，因进口MOS门电路CT30，用不防静电的塑料包装封装，短短不到两年时间因静电导致器件失效损失达30万人民币以上。4、西欧一家著名电视机制造厂在七十年代每日生产1000部电视机。在生产制造方面，生产总故障率中的60%是静电引起的，每年要付出近千万美元的赔偿保证金。1979年由一家日本公司接收后，采用高标准的品质管理和防静电措施，每日生产2000部电视机只有总的累积故障率中的2%

7、是静电引起的。静电对电子生产制造业的危害甚大ESD培训教材1级：敏感电压范围(0~1999V)的元器件类型:微波器件(肖特基势垒二极管,点接触二极管和其他工作频率大于1GHZ的检测二极管离散型MOS场效应晶体管声表面波(SAW)器件结型场效应晶体管(JEETS)电荷耦合器件(CCDS)精密稳压二极管(线或加载电压稳定(0.5%))运算放器(OPAMPS)薄膜电阻器集成电路使用1级元器件的混合电路超高速集成电路(VHSIC)环境温度100℃时,10＜0.175A的晶体闸流管(SCRS)2级：敏感电压范围(2000~3999V)元器件类型:离散型MOS场效应晶体

8、管结型场效应结晶管(JEETS)运算放大器(OPAM