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1、靜電防護措施製造工程課ESDTEAM報告人/林忠民Sanlin內容什麼是ESD為什麼要做ESD控制ESD控制包括那些如何達成靜電是一種靜止的電荷，電子不均勻分怖的結果主要是摩擦產生，其他像電場誘發、直接充電…摩擦電荷的極性與強度是由摩擦電序列所決定磨擦產生靜電TriboeletricCharge接觸分離石棉兔毛醋酸纖維玻璃雲母頭髮耐龍羊毛獸毛鉛蟬絲鋁紙棉鋼木琥珀蠟橡膠密拉(聚酯膜)鎳銅銀抗紫外線材黃銅金/白金硫醋酸嫘瑩賽路璐奧龍亞克力賽侖聚氨酯聚酯聚乙烯聚丙烯聚氯乙烯KELF矽鐵弗龍矽橡膠磨擦靜電序列越多正電越多負電常見的靜電產生事件TYPICALELECTROSTATICVOLTAG
2、ES*EVENT相對濕度10%40%55%Walkingacrosscarpet35,00015,0007,500(地毯上行走)Walkingacrossvinylfloor12,0005,0003,000(PVC地板上行走)Motionsofbenchworker6,000800400(工作台作業員的活動)RemoveDIPsfromplastictubes2,000700400(從塑膠管取出DIP’s)RemoveDIPsfromvinyltrays11,5004,0002,000(從塑膠盤取出DIP’s)RemoveDIPsfromStyrofoam14,5005,0003,50
3、0(從聚苯乙烯棉取出DIP’s)RemovebubblepackfromPCBs26,00020,0007,000(取下PCB的包裝)PackPCBsinfoam-linedbox21,00011,0005,500(PCB裝箱)*Source:AT&TESDControlHandbook-1989ESD(ElectroStaticDischarge)靜電釋放的簡寫，是電荷在不同電位物體間轉移的現象像閃電、手觸門把的觸電感等都是ESD一般我們可感覺的ESD都在3,000volts以上對元件而言，只要幾十伏特就足以造成破壞為什麼要控制ESD?避免灰塵吸附減低元件被破壞減少產品失效或運作不穩
4、定避免人員受傷預防火災或爆炸發生每年因靜電不當釋放所造成損失高達數十億美金以上靜電破壞的元件損失InformalSummaryofStaticLossesbyLevelStaticLossesReported最小值最大值平均值DescriptionMin.LossMax.LossEst.Avg.LossComponentManufacturers4%97%16-22%(元件製造商)Subcontractors3%70%9-15%(次合約商)Contractors2%35%8-14%(合約商)User5%70%27-33%(消費者)Source:StephenHalperin,"Guid
5、elinesforStaticControlManagement,"Eurostat,1990.半導體不良的成因Source:SemiconductorReliabilityNews，March1993靜電對元件的破壞程度上可分為:․傷害性故障-元件永久失效，出廠前可以發現，約佔10%․隱藏性破壞-出廠正常，但運作不穩定，回廠機率增加，約佔90%方式上可分為:․對元件放電-HBM、MM․從元件放電-CDM․電場誘發放電元件敏感度元件消散能量的能力或承受電伏的程度每一種元件在不同放電模式下會有不同的敏感度借助不同的放電模式來測試元件的敏感度，是決定ESD控制等級的第一步ESDCONTRO
6、L靜電釋放控制HumanBodyModel人體模式—帶電人員接觸元件放電MachineModel機器模式—帶電工具或設備接觸元件放電ChargedDeviceModel帶電元件模式—帶電元件接觸導體放電HumanBodyModel人體模式—帶電人員接觸元件放電TypicalHumanBodyModelCircuitESDSComponentSensitivityClassification-HumanBodyModel(perESDSTM5.1-1998)MachineModel機器模式—帶電工具或設備接觸元件放電TypicalMachineModelCircuitESDSCompon
7、entSensitivityClassification-MachineModel(perESDSTM5.2-1998)ChargedDeviceModel帶電元件模式—帶電元件接觸導體放電TypicalChargedDeviceModelCircuitESDSComponentSensitivityClassification-ChargedDeviceModel(perESDSTM5.3-1998)SusceptibilityofElect
