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时间：2019-06-21
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1、無塵室用材料ElectronicMaterials電子材料12表8.2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目（美國聯邦標準USFederalStandard209E）34圖8.1空氣淨化系統5678圖8.2HEPA過濾器的概略圖910圖8.3以雷射測試ULPA過濾器的效率11圖8.4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖12圖8.5 粒子捕集的方法13圖8.6 空氣過濾器之捕集效率1415圖8.7 三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器16(續)圖8.7 三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺
2、式過濾器，(c)無分離器式過濾器17圖8.8真空泵的分類18圖8.9擴散泵19圖8.10路茲泵的概路圖20圖8.11 路茲泵的抽氣原理21圖8.12渦輪分子泵22圖8.13 冷凍式幫浦23圖8.14氣體的平衡蒸氣壓24圖8.15空氣壓縮機的概略圖252627圖8.16空氣乾燥機的概略圖2829圖8.17安全輸送系統30圖8.18(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應31圖8.19機械式（壓縮式）冷凍系統之作用原理3233343536373839
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