《无尘室基础知识》PPT课件

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1、无尘室基础知识目录无尘室的定义无尘室的分类无尘室的结构与特点无尘室的污染源无尘室气流知识无尘室管理四原则无尘室的定义无尘室(Cleanroom),亦称洁净室或清净室,是指将一定的空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所设计之房间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎

2、其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。世界各国均有自定规格，但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【FederalStandard(FS)209E,1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2µm(

3、尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。无尘室的分类乱流式(TurbulentFlow)层流式(Laminar)复合式(MixedType)无尘室分类（一）.乱流式(TurbulentFlow)：空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。乱流式的优缺点优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所

4、，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。无尘室的分类（二）层流式(Laminar)：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class1~100。其形式又可以分为水平式和垂直式两种。(1)水平式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优缺点：构造简单，运转后短

5、时间内即可变成稳定。但建造费用比乱流式高，不易扩充。(2)垂直式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优缺点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。但构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。无尘室的分类（三）复合式(MixedType)：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级

6、以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(CleanTube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。(3)并装局部无尘室(CleanSpot)：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产

7、品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级Class1~100级。洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级。无尘室的结构无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：(1)天花板系统：包括吊杆(Ceilingrod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceili