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时间：2019-06-20
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1、摻質材料ElectronicMaterials電子材料1圖3.1 (a)完全鍵結的矽，(b)摻入硼成為p-Si，(c)摻入砷成為n-Si2圖3.2磊晶在CMOS的例子3圖3.3磊晶晶片4567圖3.4 三種形式的擴散源8(續)圖3.4 三種形式的擴散源9圖3.5各種摻質在矽中的固態溶解度1011圖3.6 離子植入機的概略圖(德州大學之400KeV機器)12圖3.7 三氟化硼解離後的譜圖13圖3.8 (a)退火(anneal)後使矽晶再結晶14(續)圖3.8 (b)退火後硼植入的濃度側繪圖1516圖3.9通道效應17圖3.1
2、0(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應18圖3.11質流控制器(a)概略結構圖，(b)測溫電路19圖3.12 氣體儲櫃的外觀2021圖3.13 氣體連鎖系統222324圖3.14電子簇射器25圖3.15斜角研磨26圖3.16電容－電壓圖27圖3.17(a)傳統的MOS電容，(b)壕溝電容28
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