12寸圆片操作规范

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1、12寸圆片操作规范FOSB-AFOSB:FrontOpenningShippingBox。用于运输或长时间存放12"圆片的盒子。一般是圆片厂用于将加工后的圆片运到下游生产厂家。FOSB-BFOUP:FrontOpenningUnifiedPod。用于12"圆片在车间的运输，以及在标准12"设备上实现圆片上下料。目FOUP前，JCAP可以使用FOUP自动上下料的设备有12"溅射机台、12"涂胶机台、12"曝光机台、12"电镀机台、12"自动检验机台。Cassette:用于单片显影，单片腐蚀，SCRUB清洗机工序Cassette。Waferjard:用于运

2、输或长时间存放12"圆片的盒子。一般Waferjard是圆片厂用于将加工后的圆片运到下游生产厂家。步骤操作内容图示注意事项1.手动搬运:双手扶住FOSB，轻拿轻放。搬运FOSB2.手推车搬运：将FOSB轻轻放到手推车上，确定轮子是否锁住，将手推车推到下个工序后，将FOSB拿出。1.将FOSB平稳地放置在工作台上，保持圆片呈竖直状态。2.操作员双手对角打开FOSB的盖沿，两只手的大拇指开启FOSB-分别摁下盖沿上的弹片，其余四指轻轻提起盖沿，先把A此对角处的锁松开，接着再用同样的方法开启余下的两个对角处的盖沿。3.双手同时缓慢向上提，开启FOSB上盖。4

3、.将FOSB上盖反过来，外表面朝下放在工作台上。1.将FOSB平稳地放置在工作台上，保持圆片呈竖直状态。2.双手大拇指分别放在片架上方两侧，四指握住侧面锁开启FOSB-B扣底部，四指用力向外打开.3.双手同时缓慢向上提，开启FOSB上盖。4.将FOSB上盖反过来，外表面朝下放在工作台上。1.右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢向上竖直上提圆片。2.当圆片中心线高过FOSB的槽位时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的侧面边缘，同时右手继续从FOSB取圆上提圆片。片3.圆片上提过程中，左手不断沿圆片侧面边缘向右移

4、动，直至圆片完全高过FOSB，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。FOSB1.右手大拇指，食指，中指在圆片无效区域轻轻拿起圆片，同时左手托住圆片下端，圆片呈竖直状态，缓慢放入FOSB装置中。将FOSB正确放置在工作台面上，（如左图所示）将圆片背面正对着FOSB底部的白色塑料垫圆片放入片。FOSB2.圆片放入FOSB过程中，右手拿住无效区域，左手托住圆片底面，在向下移动过程中，左手慢慢顺时针方向移动，待即将进入槽内，慢慢移去左手，待圆片全部进入内槽后方可移开右手。3.在此过程中，注意放

5、入正确槽位，确认没有插错，圆片隔槽放置。1.从工作台上拿起盖子，首先确认盖子方向，检查盖子上的TOP标记和FOSB上的TOP标记，要保证在同一方向（如左图中的在FOSB装置上的TOP标记）。2.先在对角方向上，轻轻用双手大拇指摁住白色的弹关闭FOSB-片，其余四指扶住盖沿边缘，待其卡入FOSB的卡槽内A上盖后，不要摁下只需要轻轻放到准确位置，再在余下的对角上摁下白色弹片，将其卡入卡槽。3.最后再把之前的两个对角弹片摁下。1.从工作台上拿起盖子，首先确认盖子方向，检查盖子上的槽位号和FOSB底部槽位号一致。2.双手抓住盖子边上的白色把手，大拇指用力向下压

6、把关闭FOSB-B手的片环，待其扣入FOSB的卡槽后，然后再用四指向上盖下压，听到“啪”的声音后，表示已经关好上盖。1.保持圆片呈水平状态，顺着把手方向双手扶住FOUP搬运FOUP把手，轻拿轻放。1.将FOUP平稳地放置在工作台上，保持圆片呈水平状态。2.左右手各拿一把FOUP钥匙，分别插入FOUP前盖的锁孔内。开启FOUP3.两只手同时顺时针旋转FOUP钥匙，当时到轻脆的“咔”的声音，双手同时向身体内侧平行移动FOUP前盖，开启FOUP前盖。4.将FOUP前盖的外表面朝下水平放在工作台上。1.将平放的FOUP竖直放置。2.右手（以右手习惯的人为例）的

7、大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢竖直向上移提起圆片。3.当圆片边缘超出其它圆片边缘时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的背面边缘，同时右手继续缓慢竖直向上移提起圆片。4.圆片上提过程中，左手不断沿圆片背面边缘向右移从FOUP取动，直至圆片完全离开FOUP，左手的食指、中指和无圆片名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。1.将FOUP水平放置，保证圆片水平.FOUP2.右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢水平向外移动拖出圆片。3.当圆片边缘超出其它圆片

8、边缘时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的背面边缘，同时右手继续缓慢水平向外移动拖出圆片