RuO-2基厚膜电阻电脉冲调阻工艺研究

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1、第1期电子元件与材料Vol.22No.12003年1月ELECTRONICCOMPONENTS&MATERIALSJan.2003经验点滴EXPERIENCESRuO2基厚膜电阻电脉冲调阻工艺研究王吉刚，董述恂（山东华菱电子有限公司，山东威海264209）摘要:用厚膜法制备了RuO2基厚膜电阻，研究了电阻值变化与脉冲电压的关系，分析了调阻工艺的特点；测量了电阻的可调整极限，目标值、偏差与初始电阻的特性，最佳阻值调整范围；研究了二次烧结对调整电阻值的影响规律。关键词:电脉冲调阻；二氧化钌基厚膜电阻器；电阻返烧中图分类号:TM54文献标识码:A文章编号:1001-20

2、28（2003）01-0042-02StudyonTrimmingProcessofRuO2-basedThickFilmResistorbythePulseVoltageWANGJi-gang，DONGShu-xun(ShandongHualingElectronicsCo.,Ltd.,Weihai264209,China)Abstract:Thecharacteristicofresistancechangevs.pulsevoltageofRuO2basedthickfilmresistorswasinvestigated,andthetrimmingpro

3、cessanalyzed.Trimmingresistancelimit,targetresistance,characteristicofdeviationvs.originalresistance,thebesttrimmingrangeweremeasured.Theeffectrefiringonresistancewasalsoinvestigated.Keywords:voltagepulsetrimming;RuO2-basedthickfilmresistor;resistor-refiring电脉冲调阻是三菱电机发明的一种RuO2基厚膜添加一定比

4、例的稀释剂，混合均匀，通过丝网印刷到电阻的新型调阻方法。调阻的基本原理为将高频电脉基板上，干燥后烧结，分别测量阻值R1，然后进行以冲施加到电阻体两端的电极，利用高压击穿RuO2颗下实验：粒之间玻璃相，使原来被玻璃相包围的导电粒子连接，（1）将部分电阻印刷保护玻璃釉并烧结，分别测导电路径增加从而降低电阻值。它很好地解决了较小量电阻值R2。尺寸厚膜电阻调整的困难，并使电阻的性能得到改善，（2）将未印刷保护玻璃釉的电阻在不同温度下进使阻值下调。与传统的喷砂、激光调阻相反；调阻后行二次烧结实验，测量电阻值。[1~2]采取返烧的方法阻值可恢复。由于其独特的优点使（3）将调阻

5、后的电阻在不同的温度下进行二次烧其在微型化的RuO2基厚膜电阻中得到了广泛的应用。结实验，测量电阻值。笔者通过实测并分析试样的初始电阻值R1、表面被保2结果和讨论护釉后电阻值R2、调阻目标值R等重要参数，讨论了电脉冲调阻工艺对电阻值要求，研究了二次烧结对调2.1电阻值的调整整电阻值的影响。2.1.1最大调整上限将经被釉并烧结的电阻，逐步加脉冲电压至最大1实验值进行调阻，记录每步阻值变化量，得到图1曲线，1.1实验材料a~e分别代表不同批号的电阻浆料。不同方阻的RuO2基厚膜电阻浆料及稀释剂、已如图1所示，调阻时电阻值变化趋势与电场强度制备好叉指电极的基板。的关系分

6、为三个阶段：1.2网络电阻的制备（1）电场强度在小于600V/mm时，电阻值的变将两种不同方阻的浆料分别按不同比例配制，再化非常小。收稿日期：2002-06-28修回日期：2002-08-30作者简介：王吉刚（1969–），男，山东威海人，工程师，研究方向为热敏打印头。Tel:013863046390；E-mail:shecgyk@public.whptt.sd.cn。第1期王吉刚等：RuO2基厚膜电阻电脉冲调阻工艺研究43（2）500~1800V/mm左右时，电阻值呈指数变化。必须确定一个合适的范围。（3）大于1800V/mm左右时，阻值变化率降低。31403.

7、50%03120R3.0σ2.5-10%–103100-20%–20Ω2.0/%/3080s-30%–30R1.5/%3060-11.0R-40%–40·30400.5R-50%–50△30200.0-60%–60edc1.2RR1.3RR1.4RR1.5RR1.6RR1.7RR-70%–70baR2-80%–80图2目标阻值R、标准偏差s与初始电阻(R2)的关系Fig.2Targetresistance(R)andstandarddeviation(s)vs600900120015001800E/V·mm-1originalresistance(R2)图1不同批

8、号浆料阻值