薄膜电阻和厚膜电阻的区别.doc

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1、薄膜电阻器比厚膜更具有低温度系数TCR和更精确的公差，这归功于溅射技术能精确定时控制。但厚膜电阻器具有较好的耐电压、耐冲击的承受能力，因为较厚的皮膜。薄膜電阻和厚膜電阻的最大區別1.膜厚的區別:厚膜電路的膜厚一般大於10μm，薄膜的膜厚小於10μm，大多處於小於1μm.2.製造工藝的區別:厚膜電路一般採用絲網印刷工藝，薄膜電阻採用的是真空蒸發,磁控濺射等工藝方法。3.厚膜電阻和薄膜電阻在材料和工藝上的區別直接導致了兩種電阻在性能上的差異。厚膜電阻一般精度較差，±10%,±5%,±1%是常見精度，而薄膜電阻則可以做到±0.01%萬分之一精度,±0.1%千分

2、之一精度等。同時厚膜電阻的溫度係數上很難控制,一般較大,同樣的,薄膜電阻則可以做到非常低的溫度係數至±5ppm，這樣電阻阻值隨溫度變化非常小,阻值穩定可靠.所以薄膜電阻常用於各類儀器儀錶，醫療器械,電源,電力設備.電子數碼產品等。應用薄膜電阻的應用廣泛，對於任意面積遠大於厚度的情形，比如薄膜物理或者半導體產業中，常有奈米級厚度的薄膜被沉積到晶片上，如果關心這些薄膜的電阻阻值大小時，就需使用薄膜電阻這一概念。例如，在發光二極體的製造中，二極體PN結上作為電極而沉積的金屬的阻值很大程度影響了發光二極體的發光效率，因此需要最小化金屬半導體的接觸電阻,利用四腳探

3、針測量法以及傳輸線模型（TransmissionLineModel）測量法,即可確定接觸電阻的大小和金屬下方半導體層的薄膜電阻阻值。