《上游硅片生产自制》PPT课件

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1、硅片生产硅片生产硅选矿工艺太阳能级硅生产工艺硅锭生产工艺硅片加工工艺硅选矿工艺硅石除了主要矿物石英外,通常伴有长石、云母、粘土和铁质等杂质矿物此外,硅石中普遍存有流体包裹体硅选矿工艺根据硅石矿物原料的杂质和包裹体的赋存状态,在选矿提纯工艺主要分擦洗-磁选-浮选-酸浸此外还有电选和生物选矿等。硅选矿工艺擦洗是借助机械力和砂粒间的磨剥力来除去石英砂表面的薄膜铁、粘结及泥性杂质矿物机械擦洗棒磨擦洗：改变原砂的粒度组成加药高效强力擦洗：增大杂质矿物和石英颗粒表面的电斥力,增强分离效果超声波擦洗：去除颗粒表面的次生铁薄膜(即“薄膜铁”FeOOH

2、)硅选矿工艺磁选,可以最大限度地清除包括连生体颗粒在内的磁性矿物如赤铁矿、褐铁矿、黑云母、钛铁矿、黄铁矿和石榴石等杂质矿物,也可除去带有磁性矿物包裹体的粒子有湿式和干式磁选两种方式强磁选或高梯度磁选通常采用湿式硅选矿工艺浮选是为了除去硅石矿物原料中的长石、云母等非磁性伴生杂质矿物。有氟有酸无氟有酸无氟无酸碱性浮选用阳离子捕收剂优先浮选长石强酸介质加入阴阳离子混合捕收剂常用还不如HF法和酸法成熟高碱性介质条件下(pH=11～12)以碱土金属离子为活化剂,以烷基磺酸盐为捕收剂,优先浮选石英实验室硅选矿工艺酸浸是利用石英不溶于酸(HF除外)

3、,其它杂质矿物能被酸液溶解的特点,从而可以实现对石英的进一步提纯。常用酸类有HCl、HNO3、H2SO4、HF等;还原剂有亚硫酸及其盐类等。经过酸浸处理后的石英砂,可获得纯度达99.99%的高纯和超高纯石英砂硅选矿工艺去除包裹体工艺（实验室研究阶段）差异腐蚀法：利用富含气液包裹体的颗粒与结晶完好的颗粒腐蚀速率的差异达到去除气液包裹体的目的氯化脱气：利用颗粒表面与内部在高浓氯气作用下产生的化学位梯度,促使气液包裹体扩散出去热爆裂法：采用高温滚烧使气体包裹体炸裂,再经过酸洗和水洗来去除包裹体太阳能级硅生产工艺