半导体物理与器件 第四章2

半导体物理与器件 第四章2

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1、§4.3非本征半导体非本征半导体:掺入定量的特定的杂质原子(施主或受主),从而热平衡电子和空穴浓度不同于本征载流子浓度的半导体材料。掺入的杂质原子会改变电子和空穴的分布。费米能级偏离禁带中心位置。掺入施主杂质,杂质电离形成导带电子和正电中心(施主离子),而不产生空穴(实际上空穴减少),因而电子浓度会超过空穴,我们把这种半导体叫做n型半导体;在n型半导体中,电子称为多数载流子,相应空穴成为少数载流子。相反,掺入受主杂质,形成价带空穴和负电中心(受主离子),空穴浓度超过电子,p型,多子为空穴。掺入施主杂质,费米能级向上

2、(导带)移动,导带电子浓度增加,空穴浓度减少过程:施主电子热激发跃迁到导带增加导带电子浓度;施主电子跃迁到价带与空穴复合,减少空穴浓度;施主原子改变费米能级位置,导致重新分布掺入受主杂质,费米能级向下(价带)移动,导带电子浓度减少,空穴浓度增加过程:价带电子热激发到受主能级产生空穴,增加空穴浓度;导带电子跃迁到受主能级减少导带电子浓度;受主原子改变费米能级位置,导致重新分布EvEcEd载流子浓度n0和p0的公式:只要满足玻尔兹曼近似条件,该公式即可成立只要满足玻尔兹曼近似条件,n0p0的乘积亦然为本征载流子浓度(和

3、材料性质有关,掺杂无关)的平方。(虽然在这里本征载流子很少)例4.5直观地说明了费米能级的移动,对载流子浓度造成的影响:费米能级抬高了约0.3eV,则电子浓度变为本征浓度的100000倍,空穴浓度的100000000000倍。载流子浓度n0、p0的另一种表达方式:同样地:EF>EFi电子浓度超过本征载流子浓度;EF

4、必须表示为:仍然做变量代换并且定义:载流子浓度公式变为:注意当ηF>0时,实际上意味着费米能级已经进入到导带中(简并)。P91给出了费米积分曲线,利用它可以计算费米积分。例4.6(E4.8)给出了一个用费米积分计算出的电子浓度。小于用玻尔兹曼近似计算值典型的简并半导体电子浓度费米——狄拉克积分与此类似,热平衡状态下的空穴浓度也可以表示为:可见,当η’F>0时,实际上也就意味着费米能级已经进入到价带中。其中:简并与非简并半导体在n0、p0的推导过程中,使用了玻尔兹曼假设,该假设只能处理非简并系统。而当导带电子(价带空

5、穴)浓度超过了状态密度Nc(Nv)时,费米能级位于导带(价带)内部,称这种半导体为n(p)型简并半导体。发生简并的条件大量掺杂温度的影响(低温简并)简并系统的特点:杂质未完全电离杂质能级相互交叠分裂成能带,甚至可能与带边相交叠。杂质上未电离电子也可发生共有化运动参与导电。从费米积分曲线上可以看出当ηF<-2时为直线,即玻尔兹曼近似成立§4.4施主和受主的统计学分布我们在前边提到,费米-狄拉克几率分布函数能够成立的前提条件是满足泡利不相容定律,即一个量子态上只允许存在一个电子,这个定律同样也适用于施主态和受主态。我们

6、将费米-狄拉克分布几率用于施主杂质能级,则有:其中gd为施主电子能级的简并度,通常为2。Nd为施主杂质的浓度,nd为占据施主能级的电子浓度,Ed为施主杂质能级,Nd+为离化的施主杂质浓度。与此类似,当我们将费米-狄拉克分布几率用于受主杂质能级时,则有:Na为受主杂质的浓度,pa为占据受主能级的空穴浓度,Ea为受主杂质能级,Na为离化的受主杂质浓度,ga为受主能级的简并度,对于硅和砷化镓材料来说通常为4在具体的应用中,我们往往对电离的杂质浓度更感兴趣,而不是未电离的部分完全电离和束缚态Ed-EF>>kT此时对于导带电

7、子来说,波尔兹曼假设成立则占据施主能级的电子数和总的电子数(导带中和施主能级中)的比值为:Nc在1019左右,而Ec-Ed为杂质电离能,几十meV,则指数项的数量级为1/e,因而在掺杂浓度不高(<1017)的情况下,杂质完全电离。例4.7同样,对于掺入受主杂质的p型非本征半导体材料来说,在室温下,对于1016cm-3左右的典型受主杂质掺杂浓度来说,其掺杂原子也已经完全处于离化状态。室温条件下n型半导体和p型半导体中杂质的完全电离状态绝对零度时EF位于Ec和Ed之间,杂质原子处于完全未电离态,称为束缚态例4.8的结果

8、表明,即使在零下100度的低温条件下,仍然有90%的受主杂质发生了电离。这表明完全电离假设在常温条件附近是近似成立的。绝对零度时,所有施主杂质能级都被电子所占据,导带无电子。§4.5掺杂半导体的载流子浓度前边讨论了本征半导体的载流子浓度;讨论了施主杂质和受主杂质在半导体中的表现。定性的给出了杂质在不同温度下的电离情况,并且定性的知道了载流子浓度和掺杂水平的相

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