真空技术及应用系列讲座第十六讲真空系统的操作与维护_张以忱

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1、第46卷第6期Vol.46,No.6真空VACUUM2009年11月Nov.2009"!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!"!!真空技术及应用系列讲座!!!!东北大学真空工程博士点，博士导师杨乃恒先生主持!!!第一讲：真空科学的发展及其应用!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!李云奇95(2)!!!第二讲：真空物理基础!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!张世伟95(3)!!第三讲：机械真空泵(一)(二)(三)(四)(五)(六)!!!!!

2、!!!张以忱95(4)、(5)、(6)、96(1)、(2)、(3)!!!第四讲：蒸汽流真空泵!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!姚民生96(4)!!!第五讲：气体捕集式真空泵!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!徐成海96(5)!!第六讲：真空测量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!刘玉岱96(6)、97(1)、(2)、(3)、(4)!!第七讲：真空检漏!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!关奎之97(5)、(6)、98(1)、(2)、(3)!!!!第八讲：真

3、空系统设计!!!!!!!!!!!!!!!!!!王继常98(4)、(5)、(6)、99(1)、(2)、(3)!!第九讲：真空系统组成元件!!!!!!!!!!!!!!王继常99(4)、(5)、(6)、00(1)、(2)、(3)、(4)!!第十讲：真空密封!!!!!!!!!!!!!!!!!!王继常00(5)、(6)、01(1)、(2)、(3)、(4)、(5)!!!第十一讲：真空材料!!!!!!!!!!!!!!张以忱01(6)、02(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、03(1)!!!第十二讲：真空工艺!

4、!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!张以忱03(2)、(3)、(4)、(5)、(6)!!第十三讲：真空系统的检测技术!!!!!!张以忱04(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、05(1)、(2)、(3)、(4)!!第十四讲：真空工程用焊接技术!!!!!张以忱05(5)、(6)、06(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、07(1)、(2)!!!第十五讲：真空工程封接技术!!!!!!!!!!!!!!!!!!张以忱07(3)、(4)、（5）、（6）!!!"第十六讲：真空系统的操作与维!!

5、!!护!!张以忱08（1）、（2）、（3）、（4）、（5）、(6)、09（1）、（2）、（3）、（4）、（5）!!!!!!!"!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!第十六讲真空系统的操作与维护张以忱（东北大学，辽宁沈阳110004)中图分类号：TB743；TB79文献标识码：E文章编号：1002-0322(2009)06-0086-02(上接2009年第5期88页）4.4扩散泵抽气系统维护与常见故障排除表13简单列出扩散泵高真空系统减少泵液4.4.1扩散泵抽气系统的维护等污物污染的方法。

6、扩散泵抽气系统的前级泵可用罗茨旋片泵表13扩散泵抽气系统减少污物污染的方法组合，罗茨滑阀泵组合，单独用旋片泵或罗茨泵返流污染物消除方法等几种形式。油扩散泵抽气系统结构简单，操作改进喷嘴挡油结构，采用憎油材料的冷挡油帽方便，寿命长，价格便宜，是目前使用范围最广泛在泵入口系统中加液氮冷阱、吸附阱或升华阱的一种真空获得设备。采用分馏型扩散泵、用好的扩散泵油，如采用根据被抽容器的容积可以粗略检查扩散泵机组五氯酚苯基醚或五氯酚苯基硅氧烷工作液选用的是否合理，一般可按表14中所示进行粗选。扩散泵油蒸汽改进系统操作工艺，

7、尽量减少扩散泵在过载区的抽气时间；避免在泵开始加热和关闭加表14扩散机械泵真空机组对应被抽容积热期间接通高真空端机组型号JK-100JK-150JK-200JK-300接通高真空阀之前，对扩散泵进行轻度烘烤除被抽容积/L≤30≤100≤200≤500气；在启动和停机过程中用气体冲洗扩散泵机组型号JK-400JK-600JK-800JK-1200在P＞15Pa时进行粗抽与扩散泵抽气切换被抽容积/L≤1000≤2500≤5000≤10000采用蒸汽压低的机械泵油，并在粗抽管路中机械泵油蒸汽设置吸附挡油阱采用气体

8、冲洗，在机械泵入口设置电磁压差扩散泵抽气系统可以适当地装备一些传感放气阀器，当万一出现操作失误或系统有漏孔、冷却不系统中的密封善及扩散泵泵液不足时，这些传感器可发出信号超高真空系统采用金属密封结构；系统预先材料、有机物和真空烘烤；采用无油干式润滑剂将系统关掉或使系统处于安全状态。真空系统中润滑油等的气动阀和电磁阀应能在设备发生故障时立即水蒸汽系统烘烤除气；扩散泵入口加冷阱动作，使系统处于安全状态下。在压缩空气或电