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《真空技术及应用系列讲座 第七讲_真空检漏03》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、真 空第1期48Vacuum2VacuumTechnologyandMaterial1998年2月真空技术及应用系列讲座东北大学真空工程博士点,博士导师杨乃恒先生主持第一讲:真空科学的发展及其应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯李云奇 95(2)第二讲:真空物理基础⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯张世伟 95(3)第三讲:机械真空泵(一)(二)(三)(四)(五)(六)⋯张以忱95(4)、(5)、(6)、96(1)、(2)、(3)第四讲:蒸汽流真空泵⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯姚民生 96(4
2、)第五讲:气体捕集式真空泵⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯徐成海 96(5)第六讲:真空测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯刘玉岱 96(6)、97(1)、(2)、(3)、(4)第七讲:真空检漏⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯关奎之 97(5)、(6)第七讲:真空检漏关奎之(东北大学)三、检漏技术(上接1997年第6期第44页)11各种检漏方法的概况真空检漏就是用适当的方法,迅速判断漏气、确定漏率是否在容许的范围之内,找出漏孔的位置、测定漏率大小,以便进行修补。充压检漏法、真空检漏法和其它检漏法的条件、现象、
3、所用设备及其灵敏度分别示于表4、表5、和表6。图4 充压检漏法最小可检漏率检漏方法工作条件现 象设备备 注(Pam3ös)水压法漏水人眼1023～1024压降法充3×105Pa空气压力下降压力计1×1023听音法同上咝咝声人耳5×1023可用听诊器超声法同上超声波超声波检测器1×1023同上水中气泡人眼1025～1026气泡法同上水中气泡人眼102924h积累同上涂沫肥皂液发生皂泡人眼1×1025充3×105Pa氨气溴代麝香草酚兰试带变色人眼1027观测20s氨气检漏法同上溴酚兰试纸变色人眼1021124h积累充2.5
4、×105Pa氨气复合涂料显色人眼10281.5小时积累卤素检漏仪充卤素气体检漏仪读数变化伴有音响卤素检漏仪1026～10210可与空气混合充入吸嘴法放射性同位充放射性气体计数器信号变化闪烁计数器271×10素气体法氦质谱检漏充氦气检漏仪读数变化伴有音响氦质谱检漏仪1028～10210仪吸嘴法气敏半导体气敏半导体检充气敏气体检漏仪读数变化检漏仪法漏仪 第1期 关奎之:真空检漏49表5 真空检漏法工作压力最小可检漏率检漏方法现 象设 备3[Pa][Pamös]静态升压法抽真空后封闭,压力上
5、升真空计1025～1026放电管法放电颜色改变放电管1023～1024高频火花检漏器法103～1021亮点,放电颜色改变高频火花检漏器1023～1024热传导真空计法 103～1021热偶或电阻真空计1026电离真空计法 1022～1026电离真空计1029差动热传导真空计法 103～1021热传导真空计差动组合1027真空差动电离真空计法 1022～1026施用示漏物质真空计读数电离真空计差动组合10210计变化 法有吸附阱的热传导真空计法103～1023液氮冷却活性炭阱,热传
6、1027导计有吸附阱的电离真空计法 1022～1026液氮冷却硅胶阱,冷阴极10211～10213电离计氢钯法7×101～1025氢气通过钯管进入真空钯管,电离计1027～10211规,读数变化离子泵检漏法1025～1027示漏物质使离子流变化离子泵1029～10212卤素检漏仪内探头法10～1021输出仪表读数变化卤素检漏仪1027～1029氦质谱检漏仪法1022输出仪表读数及声响频氦质谱检漏仪10212～10214率变化质射频质谱计法1022～1024射频质谱计1026～10211谱回旋质谱计法1023～1027施用
7、示漏物质输出仪表回旋质谱计1027～10212计读数变化法四极滤质器1021～1024四极滤质器10210～10211表6 其它检漏法灵敏度检漏方法工作条件现 象设 备3备注[Pamös]荧光法荧光材料,有机溶剂荧光材料发光紫外线光源1029～10211放射性同位素背压法放射性气体,背压抽计数器输出信号背压室,闪烁计数器10212背压数小时真空 电子管慢性漏气的加背压室充氩气,电子仪表读数变化背压室,测量电路1029～10211背压数小时速测定法 管可为电离规 背压室充氦气,抽真仪表读数及声响
8、频率背压室,氦质谱检漏氦质谱检漏仪背压法空 变化 仪 Cv一些方法的灵敏度和检测漏率公式及注意事项列表7。各种示漏气体的()值示于表M8。真空计检漏法中示漏气体的灵敏度置换系数Á和最小可读压力$Pa分别列于表9和表10。在用离子泵法检漏时,氧气和二氧化碳的R=-0.5,氦气和氢气的
