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《新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、MEMS器件与技术MEMSDevice&Technology新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极徐旻,陈迪,周然,陈翔,朱军,刘景全(上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240)摘要:介绍了一种新型的、基于Cu牺牲层的聚酰亚胺图形化方法制备视网膜电极的MEMS工艺,并对其电化学性能进行了表征。该工艺创新性地以Cu作为衬底聚酰亚胺图形化的牺牲层,以PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为剥离层,以聚酰亚胺作为封装材料,以惰性金属作为电极保护层材料,通过电铸、牺牲层和抛光打磨工艺,制备出可以自释放的柔性视网膜
2、电极;随后,对器件进行封装,并对器件的表面形貌和电学性能进行了表征。视网膜电极器件厚度50Lm,电路线45宽50Lm,阻抗10~108。通过该工艺制得的人造视网膜电极具有柔软无伤害、生物相容以及低成本的优点。关键词:MEMS;生物电极;牺牲层;聚酰亚胺;光刻中图分类号:R318.18;Q811121文献标识码:A文章编号:1671-4776(2010)02-0105-05NewFabricationofRetinaElectrodesbyMicro-PatterningofPIXuMin,ChenDi,ZhouRan,ChenXiang,ZhuJun,LiuJingq
3、uan(KeyLaboratoryforThinFilmandMicrofabricationTechnologyofMinistryofEducation,NationalKeyLaboratoryofMicro/NanoFabricationTechnology,ResearchInstituteofMicro/NanoScienceandTechnology,ShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai200240,China)Abstract:AnewMEMSfabricationprocessofartificialretinael
4、ectrodesbythesacrificia-llayer-removingmethodforthemicro-patterningofPIwasintroduced.Theelectrochemicalperfor-manceoftheretinaelectrodeswascharacterized.Theselfreleaseandflexibleretinaelectrodeswerefabricatedthroughtheelectroform,sacrificia-llayer-removingandpolishingwiththeCusacrificia
5、-llayer,PDMSreleaselayer,PIpackagematerialandinertmetalelectrodeprotectivelayer.Then,thedeviceswerepackaged,andthesurfacemorphologyandelectricalperformancewerecharacterized.Thethicknessis50Lm,thelinewidthofthecircuitis50Lm,andthe45impedanceis10-108.Theretinaelectrodeshavesomecharacterss
6、uchasflexibility,biocom-patibilityandlow-cost.Keywords:MEMS;bio-electrode;sacrificiallayer;PI;lithographyDOI:10.3969/j.issn.1671-4776.2010.02.009EEACC:7500;2550G4500万,中国约有900万视力残疾者,占全世界0引言盲人总数的1/5左右。对于因视神经、视网膜或根据世界卫生组织的统计,全球失明人口共大脑受到损伤或发生病变导致视力严重残疾的患者,收稿日期:2009-09-01基金项目:国家863计划资助项目(200
7、6AA04Z356,2006AA04Z308)通信作者:陈迪,E-mail:dchen@sjtu.edu.cn2010年2月微纳电子技术第47卷第2期105徐旻等:新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极[1]至今还没有有效的方法帮助他们重新获得视觉。的接口,负责将刺激电信号传递到视网膜神经细医学上的研究发现,视网膜色素变性(RP)胞,从而使盲人获得视觉信息。和老年性黄斑病变(AMD)是两种最易致盲的疾本文设计了一种新的制备视网膜神经刺激的生病,患者的部分外层视网膜感受器细胞(锥体和杆物微电极的工艺,制备的器件富有柔性,具有生物体细胞)的功能退化,但内层
