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《介质_金属_介质多层透明导电薄膜研究进展》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、介质/金属/介质多层透明导电薄膜研究进展/刘静等介质/金属/介质多层透明导电薄膜研究进展刘静刘丹顾真安,(中国建筑材料科学研究院北京工。。。24),.、、(dielectrital/dielectriCD/M/D)汽摘要综述了介质/金属/介质c/服多层透明导电膜材料的特制备方法研,、、、、gZnAg/ZnS的膜系结构究进展与应用现状重点比较讨论了IT()/A/ITOS/光电性能化学稳定性热稳定性等特,。、,点以及与国内外的研究差距IT()/Ag/IT()ZnS/Ag/ZnS是目前光电性能最好且无需引入过渡层的两种I刀M/I)膜系,不同的观点。用资源丰富、价格
2、便宜、无毒的掺铝氧化锌但有关其热稳定性的评价和研究存在(ZA()薄膜取代(I),ZA()/A、、含有价格昂贵的贵金属锢的掺锡氧化锢T(薄膜g/ZA()膜系结构的设计薄膜制备光电性能与IMI的对比研究是目前国内外M/。D/D研究中的热点课题和D/M/D发展的主要方向关键词透明导电膜多层(D/M/I))膜低辐射ResearchProgressofD/M/DTransparentConductiveMultilayerFilmsnanen‘anLIUJigLIUDGUZhnaungateraeae,ng100024)(ChiBildiMilAdmyBeijistr
3、aetThecharaeterstes,anuaetur工ngmetos,reeentresearerogressorransparenteon-AbiimfhdhpfD/M/I).duetveutayersanterapplieatonsnvarousesarereveeotoeeetrepropertles,strueturaearae-imlilfilmdhiiiifildiwdPhlilhters,ehemiealandthelstabilityofIT()//ITandZnS/Ag/ZnSmultilayerfilmsareemphasized.1
4、、hereare〔zuitermaAg()differentresultsontheehemiealandthermalstabilltyofIT()/Ag/IT()andZnS/Ag/ZnSmultilayerfilms.’Th。high.ateraeostotstsapplieatonntransparenteonuetven、utayers一〔01,enmilfIT()limiiiiD/M/DdililfilmAl1dZ()(ZA())film15themainalternativedeeetreayero,wh()seProuengteeogy,ph
5、otoeeetrepr(,port。、an、truct、,raililfIT()dihnoll毛idlel、araete:,nD/M/DwillbetheimportantStudyfoeus工nD/M/Dreseareh.eostransparenteonduetve,utayers,0Kywrtlifilmmlilfilm(D/M/D)1、Eetc,;,di}ecri)多层膜结构主要应用为选择性透明膜川1998年O前言、’nder七2:IT()的IMI(11()/Be等制备出导电性制造成本优于,一。(、,透明导电膜作为电极材料在液晶显示器LCD)等离子显
6、metal/I1’()从此开始rD/M/D作为透明导电膜的研究本、“)l-ED,、示器(Pl〕P)有机发光二极管)等高质量平板显示器光文综述了不同I)/M/D透明导电膜的结构性能特点制备方法伏电池等光电薄膜器件中有着广泛的应用。此外透明导电膜也及应用现状。可应用于气敏元件、红外辐射反射镜、低辐射镀膜玻璃、抗静电ID/M/D膜层选择与制备涂层、防冰除霜功能玻璃等。.、目前应用的透明导电膜主要是lT,)Sn():,飞ID/M/D()(I珑()sSn膜层选择、。FZAO(ZnO:AI)等金属氧化物透明导电膜“”它们具有高可见D/M/D/基板多层透明导电膜材料结构被
7、称为一明治结..、009)、、(、,,光透过率(85一化学稳定性好与各种基板玻璃PVC构多层膜中每层膜的作用各不相同其中金属层对薄膜的光电,、硅片等(面电阻20~20几/口),,)附着力好等优点但电阻较大性能起决定作用它要求具有良好的导电性能同时要使I)/M/、、辐射率较高()0.20)在近红外区(1一Zom)有明显吸收不能阻D。复合膜有高的可见光透过率和红外反射率根据薄膜光学优‘.7一3,,挡太阳光热辐射(0拜m)等特点限制了其在新一代光电器化设计通过严格控制金属层膜厚可以控制膜系的不同波段的。、、、、ITO透明导电。1nuu件中的应用例如膜应用于平板显示
8、器的透明光谱透射率反射率和颜色图为膜厚13m的AAg
