透明导电氧化物薄膜的研究进展

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1、第=>卷第?期表面技术J%$K=>F4K?>@@=年>月ABC67/D+D/EF4G4HI6"8K>@@=!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!透明导电氧化物薄膜的研究进展王敏，蒙继龙（华南理工大学机电系，广东广州!"#$%"）［摘要］综述了&’(薄膜的研究进展和应用前景。)&(薄膜是目前应用最广泛的薄膜，*+(薄膜是研究的热点，具有替代)&(薄膜的潜能。&’(薄膜因具有优异的光电性能而被应用在各种光电器件中，例如，平面液

2、晶显示器，太阳能电池等。随着&’(薄膜制备方法的不断改进、成熟以及聚合物基&’(薄膜的开发，&’(薄膜将具有更广阔的应用和发展空间。［关键词］&’(；,-(.；)-.(/；+-(；制备方法；应用前景［中图分类号］&0/#%1.2"［文献标识码］*［文章编号］"##"3/$$（#.##/）#"3###!3#/!"#"$%&’"()%*+,-(.&-,"()/%(012)3#"4530"63$’.!"#$%&’，%(#$)&*+,’-（89:;<=>9-=?@A9BC;-?39D9B=

3、,?H=C’CE-;I-EJ99-=;-O;::DEB;=E?-:K;<9O9KB，;-O*+(EK=C9C?=K:?=?@&’(@ED>K，E=QEDDP9B?>9=C9KHPK=E=H=9?@)&(1&’(@ED>KC;J9P99-QEO9DLHK9OE->;-

4、L@E9DOK，KHBC;KR’8，,?D;9-=?@:<9:;<;=E?->9=C?OK;-O:?DL>9KQEDDC;J9>?<9QEO9;::DEB;=E?-;-OO9J9D?:>9-=K:;B91［9":;%,0.］&’(；,-(.；)-.(/；+-(；T<9:;<;=E?->9=C?OK；*::DEB;=E?-:

5、前后出现了,-(.透明导电氧化物（&’(）薄膜因为具有在可见光区基和)-.(/基透明导电薄膜，+-(基透明导电薄膜兴起透明和电阻率低等优异的光电性能，所以被广泛的应在.#世纪7#年代［"］。用在各种光电器件中，例如：平面液晶显示器（R’8），"1",-(.基薄膜太阳能电池，节能视窗，汽车、飞机等的挡风玻璃等。最早获得的具有应用价值的透明导电膜VF,*（商自从"6#5年0;O9U9<制备出’O(透明导电薄膜以后，［/］品名），就是在玻璃上镀一层,-(.薄膜，但纯的,-(.人们就先后研制出了以,-(.，)-.(/，+-

6、(等为基体的薄膜性能不及掺杂后的,-(基薄膜，因而现在得到广.多种透明导电薄膜。目前应用和研究最多的是掺锡泛应用的是掺杂的,-(.薄膜，掺杂效果最好的是锑和)-.(（/简称)&(）透明导电薄膜，掺铝+-(（简称*+(）氟［%（］掺锑的,-(薄膜简称*&(，掺氟的,-(薄膜简..透明导电薄膜被认为是最有发展潜力的薄膜材料。同称W&(）；磷，砷，碲，氯等也可以作为,-(.薄膜的掺杂时，人们还开发了’O)-.(%，’O.,-(%，+-.,-(%，AG)-.(%剂。A;1X?-GD9［E!］等采用*T’Y8法制备的W&(薄

7、膜等多元透明氧化物薄膜［"，.］。&’(薄膜的制备方法多电阻率可达!Z"#3%种多样，以磁控溅射法最为成熟，并已形成商业化生!·B>，在可见光区的透射率大于［$］等采用喷射热分解法制得了电阻率产，溶胶4凝胶法是目前最受关注的方法。6#[。,C;-=CE1,为6Z"#3%!·B>，可见光区透射率达7#[以上的*&("&’(薄膜的基本特性薄膜。"1.)-.(/基薄膜［收稿日期］.##"4"#4"5［作者简介］王敏（"6573），女，浙江人，研究生，主要从事材料表面工程研究。<王敏等透明导电氧化物薄膜的研究进展!!!!!

8、!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!掺锡的!"#$%薄膜（简称!&$）是目前研究和应用’==/年P月已生产出P/条生产线。’==/年，我国沈阳最广泛的透明导电薄膜，它的电阻率介于’()%*’()+真空技术研究所与深圳南亚技术有限公司合作研制出了第一条&Q5:/(型大规模自动