刻蚀+PECVD工艺工程师值班手册

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1、刻蚀+PECVD工艺工程师值班手册编号：HRC-PE-021版本：A/1编制人/日期：审核人/日期：批准人/日期：1/111/11刻蚀+PECVD值班手册HRC-PE-021[A/O]1目的为了规范刻蚀+PECVD车间工艺工程师的操作，提高工作效率，特制定本标准。2范围本规范规定了刻蚀+PECVD车间操作过程中的注意事项，本规范适用于刻蚀+PECVD车间全体工艺工程师。3相关文件无4定义无5职责刻蚀+PECVD车间全体工艺工程师对此项工作负责。6环境无7职业健康安全无8管理内容8.1相关规章制度8.1.2车间规章制度：不准在车间睡觉、小说或玩游戏，不能做与工作无关的事情，如无特殊情况当

2、班人员必须做到接异常反馈后20分钟内赶到异常发生现场，被发现违规一次扣绩效10分，同一错误累计发现3次扣除当月奖金并呈递书面检讨；8.1.3交接班制度：接班工程师必须在接班15分钟之前到达车间，迟到15分钟扣绩效10分，无特殊原因迟到超过30分钟计旷工；接班工程师必须清楚前一班的18#比例及返工比例和设备及品质异常，接班工程师有权要求前一班工程师对当班异常作出详细的解释，接班工程师对前一班异常情况和处理措施未交接清楚一次扣绩效10分；8.1.4异常分析报告制度：对超出指标范围和重大异常必须反馈主管，未经主管同意必须11/11刻蚀+PECVD值班手册HRC-PE-021[A/O]下班前完

3、成一份详细的异常报告随日报或单独发送至主管和经理，分析报告必须包括异常描述，异常分析过程及异常分析结论和预防措施；出现重大异常和指标超标未给出分析报告扣绩效10分，给出详细报告给予10～30分绩效加分；8.1.5日报和日检表的填写制度：对日报和日检表填写不完整一次扣绩效分10分，对日报和日检项目弄虚作假，被发现一次扣30分，被发现三次扣除当月奖金，对日检数据进行分析，并及时联系其他部门修复设备，避免一次品质异常加考勤10分；8.2工艺工程师值班工作流程图7：45晚班与白班进行全天+晚班36小时指标和异常交接，在生产白板上签到并留下电话号码，查看当班班长和设备8：00白班对早班18#好片

4、和18#碎片进行分类统计8：10晚班持日检表与主管汇报36小时情况对统计数据进行分析主管对值班过程进行绩效考评，奖惩分明公正公开异常联系上班工程师了解情况，分析并汇报主管分析结束正常8：30白班对早班返工片进行统计，并对照生产报表备注栏失败片统计是否与工艺交接内容相符异常联系上班工程师了解情况，分析并汇报主管对统计数据和故障分析9：00对刻蚀、镀膜、清洗、烘干各项参数进行点检，发现参数异常及时联系上班工程师确认，并通知生产保修或通知设备进行微调10：00监督生产及时送洗石墨舟和石墨框，清洗机清洁和换酸确认签字；对生产操作进行巡检，违规项目记录日检表巡检项，11/11刻蚀+PECVD值班

5、手册HRC-PE-021[A/O]10：30巡检印刷18#片（每2小时/次），刻蚀不净和边缘漏浆要求生产打磨；查看inline趋势图（2小时/次），对异常趋势及时作微调11：00把日检项目输入电子档，并对现场异常进行监控和处理；11：30-12：30其中午饭休息时间30分钟，保持手机开机状态；12：30-16：30巡检印刷18#片（每2小时/次），查看inline趋势图（2小时/次）16：30-17：30其中午饭休息时间30分钟，保持手机开机状态；17：30-19：30巡检印刷18#片和inline趋势图和当班异常汇总入日报19：45-20：00交接班，晚班必须交接情况当天零点后所有异

6、常和指标、设备故障、OCAP单情况20：00首先巡视18#和返工片情况，然后进行刻蚀、镀膜、清洗、烘干各项参数点检，通知生产保修或通知设备进行微调，并跟踪效果；22：00巡视印刷18#片和inline趋势图，对异常进行及时处理和预防；23：00-24：00其中午饭休息时间30分钟，保持手机开机状态；24：00查看全天18#和返工指标，并对全天18#和返工进行分析汇总，给出明确的结论和措施；把全天inline数据趋势图贴入日报；；24：00开始新一天日报，异常记录新一天日报和前一天日检表内；24：00-08：00每两小时巡检印刷18#片和inline趋势图；8.3日常工作要求8.3.1.

7、11/11刻蚀+PECVD值班手册HRC-PE-021[A/O]板式PECVD换管跟踪：监督生产换管期间对石墨框进行打磨，检验换管后抽真空时间及inline数据是否正常，若换管后膜厚均匀性或电池性能有异常，首先要求设备检查换管是否正常，设备确认正常，inline参数在控制线以内必须观察其4个小时内运行状况，若有异常立即要求设备检查或换管。8.3.2.管式PECVD维护：设备进行清理石英管等操作后，对机台先进行漏率测试，漏率在正常范围内可进行单排