MEMS与纳米技术

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1、西安交通大学教学进度计划课程名称MEMS与纳米技术总学时已完成学时本学期时数适用班级机自1-8，机械（硕）合计讲课实验习题设计作业任课教师王海容、卢德江4804848000系主任苑国英学分数3周次教学环节内容课内时数自学时数备注9讲课第一章:微型机电系统（MEMS）导论(MEMS)21.MEMS的基本概念2.MEMS的优势与不足3.MEMS的历史与发展4.MEMS的应用与市场9讲课第二章：MEMS结构与器件简述1.力学器件2.热力器件3.微流体器件4.传动与致动器件5.MEMS结构特征29讲课第三章：微图形转移技术――光刻1.光

2、刻基本原理2.掩膜板制备3.光刻机4.光刻工艺流程5.光刻结果评价210讲课第四章：MEMS硅基材料1.单晶硅2.其他硅基材料210讲课第五章：基本硅微加工技术1.薄膜淀积2.刻蚀3.材料改性210讲课第六章：等离子体物理基础1.粒子碰撞过程2.粒子密度与能量21.鞘层理论2.直流与射频放电11讲课第七章：等离子体硅微加工技术1.离子溅射2.PECVD211讲课3．等离子体刻蚀211讲课第八章：MEMS硅微工艺流程1.体硅工艺2.表面工艺3.多用户MEMS工艺流程4.机电集成策略212讲课第九章：LIGA与准LIGA技术212讲

3、课第十章：MEMS设计举例——静电梳212讲课MEMS部分总结213讲课第十一章：纳米技术绪论(纳米技术)1．纳米科学与技术发展史2．纳米技术发展的主要特征3．纳米技术发展的意义4．纳米技术的产业化前景213讲课第十二章：纳米材料1.纳米材料的定义和分类213讲课2纳米材料结构3纳米材料的特性214讲课第十三章：纳米材料制备与纳米材料应用1.纳米制备技术的发展趋势2.纳米材料制备技术方法分类3.纳米材料的制备方法214讲课4．纳米材料的物理制备方法5．制备方法214讲课6．材料的应用7．陶瓷增韧8．在磁性材料方面的应用26．在催

4、化领域的应用7．在光学方面的应用8．在其他方面的应用15讲课第十四章：纳米加工1．电子束曝光215讲课2．聚焦离子束加工技术215讲课3．纳米压印216讲课4．扫描隧道显微镜5．原子力显微镜216讲课第十五章：纳米测量技术21．扫描电子显微镜2．工作原理3．扫描电镜的特点4．扫描电镜试样制备5．扫描电镜在微纳米技术中的应用16讲课课程总结2（注：表中第一到第十章参考教材为《MEMS结构与工艺》，十一到十五章参考教材为《纳米技术概论》）参考书目：书名、作者、出版社、出版时间。教材：《MEMS结构与工艺》由卢德江主编，本校讲义。《纳

5、米技术概论》由王海容等主编，本校讲义参考书目：1.P.Rai-Choudhury，HandbookofMicrolithography,micromachiningµfabrication,IEEMaterialsandDevicesSeries12B:ISBN:0-85296-911-22.张立德，《纳米材料和纳米结构》，科学出版社，ISBN7-03-008459-4/0.12363.StephenA.Campbell，TheScienceandEngineeringofMicroelectronicFabricat

6、ion,电子工业出版社，ISBN7-5053-8313-2/TN.17294.曹茂盛，曹传宝，徐甲强编著，《纳米材料学》，哈尔滨工业大学出版社，20025.袁哲俊编著，《纳米科学与技术》，哈尔滨工业大学出版社，20056.BharatBhushan(Ed.),《HandbookofNanotechnology》，Spinger-VerlagBerlinHeidelbergNewYork,20047.顾宁，付德刚，张海黔等编著，《纳米技术与应用》，人民邮电出版社，20028.张立德，牟季美编著，《纳米材料和纳米结构》，科学出版社，

7、20019.刘吉平，郝向阳编著，《纳米科学与技术》，科学出版社，2002