光学元件的镀膜

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1、光学元件的镀膜www.thorlabschina.cn镀膜工艺电子束蒸镀光学元件的镀膜不仅需要完善的设备，全面的镀膜工艺才能定制不同类型的薄膜，满足各异的需求。离子辅助电子束蒸镀离子束溅射www.thorlabschina.cn光学元件基底右图为10种常见基底的透射波长范围，可先根据需求选择不同的基底N-BK7玻璃UV熔融石英（UVFS）N-SF11玻璃氟化钙（CaF2）氟化钡（BaF2）蓝宝石硅（Si）硒化锌（ZnSe）锗（Ge）氟化镁（MgF2）www.thorlabschina.cn光谱

2、薄膜光谱薄膜可以用于选择透过光的波长，或衰减透过光的能量，是制备滤光片的主要工艺。带通滤光片截止滤光片二向色分光镜陷波滤光片中性密度衰减片长波通透过大于截止45⁰角使用带阻滤光片透过一个狭窄的光谱波长的光谱；透过大于设计波长的阻挡特定波长范围的均匀衰减透射光范围短波通透过小于截止光，反射小于设计波光波长的光谱长的光；或反之www.thorlabschina.cn增透膜增透(AR)膜是一种硬质耐热氧化膜，可在特定波长范围内将元件表面的反射最小化。未镀膜的情况下，光学元件每个表面由于反射回产生约4%的能量损耗。如果3

3、个未镀膜的透镜组合使用，则在6个表面都会发生反射，实验测得，光通过透镜组后共损耗21.7%的能量。约4%反射约4%反射约4%反射约4%反射约4%反射约4%反射如果存在增透膜，每个表面的反射将小于0.5%，因此镀增透膜可使该光学系统的透过率从78.3%提高至97%。www.thorlabschina.cn增透膜根据波长范围，我们将增透膜分为宽带增透膜(BBAR)和V型增透膜。并以英文字母编码。下图可看到每种增透膜的波长分布。宽带增透（BBAR）膜包含多个膜层，以材料折射率高低相间隔分布。通过建模软件，每一层膜的厚度

4、都被优化，就可以改善光学元件在特定波长范围内的性能，并减小元件内部反射（鬼影）。Thorlabs目前提供的增透膜可以在7个不同的波长范围内优化光学元件性能。V型增透膜是一种多介质层的厚增透膜，设计用来在短波长范围内减小反射。V膜因反射率曲线呈现”V”字形而得名，在特定波长内可实现更低的反射率。我们目前提供3种不同的V膜。www.thorlabschina.cn增透膜—BBAR宽带增透膜(BBAR)对应的入射角在0°到30°之间，数值孔径（NA）为0.5。以下为7种类型增透膜的波长范围及特性曲线，阴影部分为推荐使用

5、的波长。编码UVABCDEF波长290-370nm350-700nm650-1050nm1050-1620nm1.8-3µm3-5µm8-12µm平均<0.5%<0.5%<0.5%<0.5%<1.0%<2.5%<1.5%反射率性能曲线（反射）www.thorlabschina.cn增透膜—VCoatingV型增透膜对应的最优入射角在0°到20°之间。以下为3种类型增透膜的波长范围及特性曲线。名称633nmV型膜780nmV型膜YAG450-600nm波长555-705nm700-850nm1000-1150nm平

6、均反射率<0.25%<0.25%<0.25%性能曲线（反射）www.thorlabschina.cn高反膜高反(HR)膜是一种硬质、耐高温氧化膜，可以在特定波长范围和入射角内将表面反射最大化。高反膜正好与增透膜相反。这种薄膜包含高、低折射率材料交替分布的膜层。通过计算机建模，每层膜的厚度经过优化，在反射波长内产生相长干涉，在所有其它波长内则产生相消干涉。通过加入HR膜后，光学元件表面的反射率被大大提高；但是，它的性能表现确定与入射角（AOI）的大小。在高AOI时，反射波带会漂移到更短的波长范围，并且S和P偏振对应

7、的性能也存在差异。Thorlabs目前提供8种不同的高反膜，分别为4种介质膜和4种金属膜。www.thorlabschina.cn高反膜—介质膜根据波长范围，介质膜分为E01，E02，E03和E04四种。它们在特定宽带波长范围内的反射率非常高。名称E01E02E03E04波长范围350-400nm400-750nm750-1100nm1280-1600nm平均反射率>99%>99%>99%>99%1J/cm2at355nm,0.25J/cm2at532nm,1J/cm2at810nm,2.5J/cm2at1542

8、nm,激光Ø0.373mmpulsedbeam,Ø0.803mmpulsedbeam,Ø0.133mmpulsedbeam,Ø0.181mmpulsedbeam,损伤阈值10nspulses@10Hz.10nspulses@10Hz.10nspulses@10Hz.10nspulses@10Hz.性能曲线www.thorlabschina.cn高反膜—金属膜金属膜主要分成