X射线及透射电镜(TEM)窗口性质分析及规格详解

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1、X射线用氮化硅薄膜窗氮化硅薄膜窗随着各种软X射线光源的出现，如同步辐射、激光等离子体等高亮度的X射线源的发展，软X射线显微成像技术在全世界范围内得到迅速发展。光学显微镜与电子显微镜相比，软X射线显微术是研究自然状态下生物样品高分辨率成像的最好方法。为了充分体现软X射线显微术对生物自然状态下观测的特色，必须借助于一定的窗口将真空中的软X射线尽可能小的吸收比。由于氮化硅膜具有如下优良的性质，因而需要各种尺寸和厚度的氮化硅薄膜作为软X射线显微术的窗口材料。氮化硅薄膜的性质：1.硬度大，致密性好，表面光滑，机械强度大，稳定性好；2.对软X射线有很好的穿透性，对可见光是透明的。氮化硅膜可用作软X

2、射线接触显微术的衬底支持膜，成像后直接进行透射电镜观察；可作为同步辐射光束线中的污染阻挡层；可以成为制作各种光学波带片的衬底薄膜；可以作为投影显微术靶的支持膜；可以用作真空窗口，在同步辐射软X射线显微术中，隔开光源超高真空与显微术光学元件高真空部分；在活样品室设计中，隔开高真空的软X射线部分与大气压，使样品在大气中曝光，这对于研究生物活细胞具有重大意义。RISUN氮化硅薄膜窗特点RISUN的X-射线薄膜窗能够实现软X-射线(如真空紫外线)的最大透射率，主要用于同步辐射X射线透射显微成像时承载样品。X-射线越软(能量越低)，穿透能力越差，所需氮化硅薄膜窗越薄。特别在“离轴”状态工作（即薄

3、膜与光束成一定角度）时，也需要较薄的薄膜窗口，便于X射线更好地穿透。1.RISUN提供的氮化硅薄膜窗口是利用现代MEMS技术制备而成；2.RISUN提供的氮化硅窗选用低应力氮化硅（0-250MP）薄膜，和ST氮化硅薄膜相比，低应力产品更坚固耐用，成为用户的首选；3.RISUN提供的氮化硅薄膜窗口非常适合应用于透射成像和透射能谱等广泛的科学研究领域，例如，X-射线（上海光源透射成像/能谱线站）、TEM、SEM、IR、UV等。透光度使用透射（光学）显微镜时，完全可以透过薄膜窗进行观察。但薄膜窗的厚度有一定限制，否则其透光度会明显下降。对于X射线用窗口，500nm厚的氮化硅薄膜有很好的X光穿

4、透效果，对于软X射线（例如碳边吸收谱），100-200nm厚的氮化硅薄膜窗口是用户首选。1真空适用性薄膜厚度窗口面积压力差≥50nm≤1.0x1.0mm1atm≥100nm≤1.5x1.5mm1atm≥200nm≤2.5x2.5mm1atm表面平整度RISUN氮化硅薄膜窗口具有稳定的表面平整性（粗糙度小于1nm），对于X射线应用没有任何影响。温度特性RISUN氮化硅薄膜窗口是耐高温产品，能够承受1000℃高温，非常适合在其表面利用CVD方法生长各种纳米材料。化学特性RISUN氮化硅薄膜窗口是惰性衬底。RISUN氮化硅薄膜窗规格单窗口系列薄膜厚度窗口尺寸框架尺寸型号50-200nm1.5

5、X1.5mm5.0X5.0mm50-200nm2.5X2.5mm7.5X7.5mmRISUN50-200nm3.0X3.0mm10X10mm50-200nm5.0X5.0mm10X10mm硅片厚度：200um、381um、525um；2多窗口系列薄膜厚度窗口尺寸框架尺寸型号50nm2x2阵列，1.5X1.5mm5.0X5.0mm50nm3x3阵列，1.5X1.5mm7.5X7.5mmRISUN100nm4x4阵列，1.5X1.5mm10X10mm硅片厚度：200um、381um、525um；定制系列可根据用户需求提供不同膜厚、镀层（如Au/Cu/Mg/Ni等）的定制服务。本产品为一次性

6、产品，不建议用户重复使用；本产品不能进行超声清洗，适合化学清洗、辉光放电和等离子体清洗。应用简介1.同步辐射X射线（紫外或极紫外）透射成像或透射能谱应用中是不可或缺的样品承载体。2.耐高温、惰性衬底，适应各种聚合物、纳米材料、半导体材料、光学晶体材料和功能薄膜材料的制备环境，利于制备理想的用于X射线表征用的自组装单层薄膜或薄膜（薄膜直接沉积在窗口上）。3.生物和湿细胞样本的理想承载体。特别是在等离子体处理后，窗口具有很好的亲水性。4.耐高温、惰性衬底，也可以用于化学反应和退火效应的原位表征。5.适合作为胶体、气凝胶、有机材料和纳米颗粒等的表征实验承载体。X射线用氧化硅薄膜窗氧化硅薄膜窗

7、RISUN推出新型二氧化硅薄膜窗系列产品。与氮化硅相比，氧化硅更易遭受化学侵蚀，且坚固性更差。但在X-射线显微镜中，由于没有N原子存在而倍受青睐。氧化硅与氮化硅薄膜窗比较：相比氮化硅薄膜，氧化硅薄膜更适合用于含氮样本。在EDS研究中，如基片薄膜含氮，则会与样本造成混淆。3RISUN氧化硅薄膜窗特点许多研究纳米微粒，特别是含氮纳米微粒的人员发现此种薄膜窗格在他们实验中不可缺少。SEM应用中，薄膜背景不呈现任何结构和特点。X射线显微镜中，装载多