(最新)功率型led电极的研究

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1、功率型LED电极的研究摘要LED是节能、环保型光源，具有低工作电压，低功耗，固体化，小体积，长寿命，无闪频，响应时间快，容易与IC电路匹配，可在各种恶劣环境下使用等特点。所以它的出现使与人类息息相关的传统照明产业正面临着重大挑战，其遍及国计民生诸多领域的作用日益凸显。利用白光LED照明已经引起各个国家的高度重视，日本、美国、欧洲以及我们国家都相继启动有关白光照明的研究项目。鉴于LED光源的优点和LED的发展现状以及发展前景。本文从LED光源目前急需解决的问题出发，结合一些解决方案，重点对LED电极进行了研究。通过实验，分别研究了金

2、属与p-GaN和n-GaN的欧姆接触。归纳起来主要包括以下几项内容:(1)针对白光照明遇到的困难和挑战，重点分析制作高质量LED电极对LED的寿命，可靠性，发光效率等性能的重要性。结合金属与GaN形成欧姆接触的原理和制作难点，提出了解决方案;然后介绍了两种测量欧姆接触比接触电阻率的方法:线传输线模型(TLM)和圆形传输线模型(CTLM)。本文主要是以圆形传输线模型(CTLM)的环式结构模型来实现LED电极欧姆接触比接触电阻率的测量与计算。(2)LED电极的制作过程中有两个最为非常重要的的步骤:磁控溅射和光刻。要想得到好的欧姆接触，

3、首先就得确定磁控溅射制备Ni/Au和Ti/Al金属膜的最佳工艺条件。同样要想获得优良的欧姆接触及准确的测量欧姆接触电阻率，得保证光刻后的图形正确、清晰，没有钻蚀、毛刻、针孔和小岛等缺陷，通过反复的实验比较，基本掌握了磁控溅射制备Ni/Au和Ti/Al金属膜的最佳工艺条件以及光刻中的各个步骤的最佳工艺参数。3)实验过程，分别在p-GaN和n-GaN上镀上Ni/Au和Ti/Al，然后进行光刻，形成图形后，测出IN曲线，用圆形传输线方法(CTLM)计算比接触电阻率。分别从表面处理，退火处理以及不同金属厚度比例对欧姆接触的影响几功率型LE

4、D电极的研究个方面进行了研究。得到了p-GaN和n-GaN欧姆接触最低比接触电阻率分别为3.1X10-50"cm2和1.32X10--'Q"cm2的实验结果。并分析了其物理机理。关键字:P-GaN;比接触电阻;圆形传输线方法;表面处理:退火TheInvestigationofElectrodeofPowerLEDAbstractLEDforgeneralilluminationhavemanyadvantages,suchassavingsinenergyconsumption,reducedpollution,substanti

5、alsavingstotheconsumers，Therefore,bothindustryandgovernmenthaverespondedtothisenticingchallenge,Japan,EuropeUnion,UnitedStatesofAmerican,KoreaandChinaallhaveproposedthedevelopmentplansoftechnologyandindustryforLEDoneaftertheother.Therapidprogressondevicesrequiresbeter

6、ohmiccontactonGaN，whichmeanslowerohmiccontact,betersurfacemorphologyandmorereliability,somuchmoreresearchworkmustbecarriedoutatonceAtfirst,thelightemitingmachenismsandpropertiesofLEDisbrieflyintroduced,thestatusofLEDilluminationisstatedanditsvigorousfutureispreviewed-

7、Andthenhowsurfacetreatment,annealingprocessaffecttheOhmiccontactresistivityofthep-GaNandn-GaN.Themainworkinthisthesisincludesafewcontentsasfollow:(1)TheapplicationsandpotentialofLEDforgeneralilluminationwereintroduced.Wediscussedthedetailsofchallengesandpossibleapproa

8、chesingeneralillumination.Thetheoryandthemeasurementmethodsofohmiccontactwerepresentedsystematicallylowresistanceohmiccontac