冗余通孔插入方法研究

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1、西安电子科技大学硕士学位论文冗余通孔插入方法研究作者：苏永邦导师：王俊平教授学科：微电子学与固体电子学中国西安2012年12月ResearchofredundantviainsertionmethodADissertationSubmittedtoXidianUniversityinCandidacyfortheDegreeofMasteriIlMicroelectronicsandSolid．StateElectronicsBySUYongbangXi’an，P．R．ChinaDecember2012叭mm叭1⋯5咖0删0

2、㈣弘帅2ⅢY西安电子科技大学学位论文独创性(或创新性)声明秉承学校严谨的学风和优良的科学道德，本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果；也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切的法律责任。本人签名：二蔓丞垒王日期里!!!!必关于论文使用授权的

3、说明本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件，允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。同时本人保证，毕业后结合学位论文研究课题再撰写的文章一律署名单位为西安电子科技大学。(保密的论文在解密后遵守此规定)本学位论文属于保密，在年解密后适用本授权书。本人签名：蔓立垦篁≥导师签名目期：!!!三：!：够日期：!!鱼!三!坠摘要随着集成电路特征尺寸的减小，由于通孔

4、失效造成的芯片成品率下降是可制造性设计面临的一个主要挑战，冗余通孔结构是有效改善通孔成品率和可靠性的典型方式。本文主要进行的是冗余通孔结构的插入研究，过程考虑关键面积因素和时延因素，提出基于关键面积约束的冗余通孔插入方法和基于时延约束的冗余通孔插入方法。基于关键面积约束的冗余通孔插入方法引入矩形通孔冗余结构，通过分析矩形通孑L结构和传统的双通孔结构的版图布线特征获取相关的增量关键面积信息，并根据增量关键面积信息把冗余通孔的插入问题转变为解最大独立集问题。结果显示，引入矩形通孔结构的关键面积约束冗余通孔插入方法能在保证冗余通孔

5、的插入率不会受到太大影响的情况下，明显降低由于冗余结构的加入而导致线网之间关键面积的增加，电路设计的成品率也有所提升。基于时延约束的冗余通孔插入方法考虑通孔冗余结构的RC时延特征，分别分析了L型和T型冗余结构的时延信息，确定满足电路时延特性的冗余通孔位置，并由此得到基于时延特征的最大独立集。实验结果表明，尽管电路设计的成品率有少量下降，但却是保证了时延特征，避免了由于冗余通孔的加入而导致的电路性能下降甚至失效问题。关键词：冗余通孑L关键面积时延成品率可制造·I生设计AbstractAstheprocesstechnology

6、advances，reducingtheyieldtheimportantchallengesindesignformanufacturability．typicalapproachtoimprove)，ieldandreliability．10SSduetoviafailureiSoneofRedundantviainsertionistheInthiswork，criticalarea—constrainedredundantviamserUonmethodandtiming-constrainedredundantvi

7、ainsertionmethodareproposed．Thecriticalarea—constrainedredundantviainsertioncomberrectangleviaanddoubleviaastheredundantvia．Byanalyzingtheroutingsourceofredundanttogaintheincrementalcriticalareainforrmtion,constructtheOne··to—-onecorrespondenceconflictgraphandconve

8、ntheredundantviainsertionproblemintothemaximumindependentsetproblem．TheresultshowsthatthecrRicalarea-constrainedredundantviainsertionmethodcansig