北化高分子研究方法-电镜

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1、专题：扫描透射电子显微镜SEMTEMSTEM光源电子源电子源电子源加速电压0.5~35kV80~300kV0.5~35kV（基于SEM）（常用）80~300kV（基于TEM）成像方式扫描成像透镜成像扫描成像记录电子信号二次电子、背散射电透射电子、相干散透射电子、散射电子射电子（电子衍射）子、二次电子衬度形貌、成分（Z）质厚、衍射、相位质厚、成分（Z）分辨率~1nm~0.1nm~1nm（基于SEM）~0.1nm（基于TEM）制样基本保持原始状态分散、减薄分散、减薄分析功能能谱（可mapping）能谱、能量损失谱、能谱、能量损失谱能量过滤像（不可（可m

2、apping）mapping）基于TEM的STEMSTEM明场、暗场和能量损失谱3STEM的特点：①没有透镜成像的色差问题，可观察比较厚的试样；②分辨率主要取决于会聚束尺寸，可用会聚镜球差校正器实现亚埃级分辨率；③可在高空间分辨率（原子尺度）下实现分析功能可以大的出射角接收透过电子并减小试样损伤。1.高角度环形暗场(HAADF)方法:High-AngleAnnularDark-FieldHAADF（高角环形暗场像）--Z衬度像Z衬度像是高分辨（原子级）的质厚成像技术，代表了质厚衬度的空间分辨率极限，可记录从单个原子或原子柱散射出来的电子。SrTi

3、O3的球差校正STEM-HAADF像（左）和ABF像（右）6AlOgrainboundary237STEM（明场）像HAADF（暗场）像2、STEM-EDSmapping：在STEM的基础上，以与SEM类似的方式采集特征X射线信号，形成元素面分布图。特点：高空间分辨率、低定量精度3、电子能量损失谱（EELS）：在STEM的基础上，加装能量分析器，对透过的电子进行分光，可获得能量损失谱。采用能量分析器对透过的电子进行分光，可获得能量损失谱，以确定试样的化学组成（特别是轻元素）及一些化合物的价态。硅铝氧氮耐热陶瓷的EELS分析4、能量过滤器(GIF)：

4、两种类型的能量过滤器零损失像C-KN-KSiN-SiC的能量过滤像电子显微镜分析方法和所能获得的信息分析方法获得的信息电子能量损失谱方法（EELS）电子状态、组成、试样厚度X射线能谱方法（EDS）组成、杂质原子位置、试样厚度高分辨电子显微方法原子排列、晶格缺陷、表面形态（HREM）电子衍射方法（ED）晶体结构、晶体取向、试样厚度二次电子像（SEM）表面形态Z衬度方法组成、原子排列罗伦兹电子显微方法磁畴结构电子全息照相术磁畴结构、试样厚度（晶体势）