应用微毛细孔电泳技术结合微流体结构制作低成本化学分...

《应用微毛细孔电泳技术结合微流体结构制作低成本化学分...》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、“應用微毛細孔電泳技術結合微流體結構製作低成本化學分析模組”生化感測器原理及應用期末報告指導老師：呂志誠教授學生：林廣銘班級：機電碩一學號：100408088一、前言：......................................................3二、研究背景....................................................31.高尿酸症...................................錯誤!尚未定義書籤。2.毛細管電泳法........................

2、..........................3三、製程步驟與尺寸設計..........................................41.微流道製作....................................................42.利用高分子材料製作遮蓋及電極配置..............................5四、外形設計、工作範圍..........................................7實驗結果探討...............................

3、.......................8五、專利探討....................................................91.專利號:US7,211,184B2........................................92.專利號:US7,344,628B2.......................................103.專利號:US7,988,839B2.......................................11六、結論與參考資料.........

4、....................................12結論.............................................................12參考資料.........................................................121圖1左圖：單晶矽片右圖:熱處理後之矽片............................4圖2左圖：旋塗光阻(正光阻)右圖：第一層遮罩.......................4圖3左圖：顯影後清洗完成圖右圖：去除光阻

5、.........................5圖4左圖：乾式蝕刻右圖：去除SIO2.................................5圖5重新熱處理後形成SIO2..........................................5圖6左圖:聚碳酸脂右圖:琁塗光阻(負光阻)...........................5圖7左圖:第二層遮罩右圖:顯影後完成圖.............................6圖8左圖:濺鍍金做為電極右圖:用丙酮去除光阻.......................6圖9

6、左圖:第二次顯影完成圖右圖:第三層遮罩.........................6圖10左圖:濺鍍鉑做參考電極右圖:完成圖(已用丙酮去除光阻)..........6圖11原理圖.......................................................7圖12左圖:元件完成圖右圖:實際操作圖..............................7圖13電流(ΜA)電壓(V)曲線圖........................................8圖1410MM過氧化氫分析結果..........

7、...............................8圖15多樣化合物混和量測結果：（A）過氧化氫（B）抗壞血酸（C）尿酸8圖16架構圖.......................................................9圖17左圖：結構上視圖右圖：結構側視圖............................9圖18架構圖......................................................10圖19左圖：流量端放大圖右圖：微流道標示......................

8、...10圖20系統流程圖....................