微流体系统中微通道制作工艺的研究进展.pdf

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1、加工、测量与设备Processing，MeasurementandEquipment微流体系统中微通道制作工艺的研究进展张高朋，田桂中，曹伟龙(江苏科技大学机械工程学院，江苏镇江212003)摘要：微通道作为决定微流体系统性能的关键元件，其制作材料、工艺与装备是微机械领域的研究热点。现有微通道制作材料主要有硅及其氧化物、玻璃、聚合物三种。综述了不同材料微通道制作工艺的国内外研究现状，包括光刻、腐蚀、热压印、软化拉伸和键合等方法。讨论了现有微通道制作工艺及其设备的特征与不足，工艺过程涉及精密机械加工、化学处理、工程材料、图像处理和自动控制等众多学科，所加工微通道截面多

2、呈矩形、三角形或半圆形，制作设备结构复杂、功能单一且成本高昂。展望了仿生微通道发展方向，简要介绍了玻璃基仿生微通道优化模型和制作设备的研究进展。关键词：微电子机械系统(MEMS)；微流体系统；微通道；仿生微机械；自然微通道中图分类号：TH703文献标识码：A文章编号：1671—4776(2013)08—0512—06ResearchProgressoftheMicro—ChannelFabricatingProcessintheMicrofluidicSystemZhangGaopeng，TianGuizhong，CaoWeilong(SchooloJMechani

3、calEngineering，JiangsuUniversityofScienceandTechnology，Zhenjiang212003，China)Abstract：Asthekeycomponentsofthemicro—fluidicsystemperformance，thefabricatingmate-rials，processesanddevicesofthemicro—channelareresearchhotspotsinthefieldofthemicro—electromechanicalsystem(MEMS)．Nowadays，thema

4、infabricatingmaterialsforthemicro—channelaresiliconanditsoxides，glassandpolymer．Theoverseasanddomesticresearchstatu—sesofmicro—channelfabricatingprocesseswithdifferentmaterials，suchasthelithography，etching，hotembossing，thermo—softeningandstretching，bonding，aresummarized．Thelea—turesand

5、defectsofexistingtechnologiesandprocessingequipmentsformicro——channelsaredis——cussed．Themanufacturingprocessinvolvesthedisciplinesofprecisionmachining，chemicaltreatment，engineeringmateria1，imageprocessingandautomaticcontrol，etc．Thesectionsofthemicro—channelsarealmostrectangular，triangu

6、larorsemicircular，andtheprocessingequip—mentshavecomplexstructure，singlefunctionandhighlyexpensive．Thedevelopmentdirectionsofthebio—microchannelareprospected．Theresearchprogressesoftheoptimizedmodelandpro—cessingequipmentfortheglassbio—microchannelarebrieflyintroduced．Keywords：micro—el

7、ectromechanicalsystem(MEMS)；micro—fluidicsystem；micro—channel；bio—micromachine；naturemicro—channe1DoI：10．3969／i．issn．1671—4776．2013．08．007EEACC：2575F收稿日期：2013-05—22基金项目：国家自然科学基金资助项目(51005108)；江苏科技大学人才引进基金资助项目(35020808)通信作者：田桂中，E-mail：tianshuanger@126．com512MicronanoelectronicTechnolo