飞秒激光并行微加工技术研究硕士论

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1、r南开大学学位论文电子版授权使用协议jP20562(请将此协议书装订于论文首页)论文《色罨步调勤魄皙诮彳蝴互专乏才嘲坛》系本人在南开大学工作和学习期间创作完成的作品，并已通过论文答辩。本人系本作品的唯一作者(第一作者)，即著作权人。现本人同意将本作品收录于“南开大学博硕士学位论文全文数据库”。本人承诺：已提交的学位论文电子版与印刷版论文的内容一致，如因不同而引起学术声誉上的损失由本人自负。本人完全了解《直五态堂图蛊绾苤王堡在!焦垣堂焦途塞的笪堡壶这》!同意南开大学图书馆在下述范围内免费使用本人作品的电子版

2、：本作品呈交当年，在校园网上提供论文目录检索、文摘浏览以及论文全文部分浏览服务(论文前16页)。公开级学位论文全文电子版于提交1年后，在校园网上允许读者浏览并下载全文。注：本协议书对于“非公开学位论文”在保密期限过后同样适用。院系所名称：召勿磁芝料营、多f九作者签名：交11乔锌学号：2＼黝扫岁012z南开大学学位论文版权使用授权书本人完全了解南开大学关于收集、保存、使用学位论文的规定，意如下各项内容：按照学校要求提交学位论文的印刷本和电子版本；学校有权保存学位论文的印刷本和电子版，并采用影印、缩印、扫描、

3、数字化或其它手段保存论文；学校有权提供目录检索以及提供本学位论文全文或者部分的阅览服务；学校有权按有关规定向国家有关部门或者机构送交论文的复印件和电子版；在不以赢利为目的的前提下，学校可以适当复制论文的部分或全部内容用于学术活动。学位论文作者签名：象≯肾毒午7-oo吕年D≯只卫6B经指导教师同意，本学位论文属于保密，在年解密后适用本授权书。指导教师签名：学位论文作者签名：解密时间：年月日各密级的最长保密年限及书写格式规定如下：南开大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下，进

4、行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本学位论文的研究成果不包含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。学位论文作者签名：函挎纤2汐汐罗年秒岁月2厂日脉冲持续时间超短，加工时热影响极小，提高了加工质量；超强的峰值功率可以激发材料的双光子／多光子吸收效应，使其加工分辨率可以突破衍射极限，提高了加工精度；而且飞秒激光可以深入透明材料内部进行加工，具备加工复杂三维结

5、构的能力。因此，飞秒激光微加工被广泛应用于工业加工、微电子、光通信、光信息和生命科学等领域。随着飞秒激光微加工工艺的不断发展，人们发现，横向逐点扫描法加工区域不对称和加工效率不高是比较突出的两个问题。本论文针对这两个问题，在前人工作的基础上，进行了研究。l通过在聚焦物镜前增加预聚焦透镜的方法对横向逐点扫描法进行改进，对改进前后所加工波导的横截面对称性和导光特性进行对比，对改进效果进行了研究。2发展了同一层面上及不同层面上并行微加工方法，搭建了并行微加工系统，在硅玻璃中写入微结构，研究了几个常用参数对两种并

6、行微加工结果的影响，对两种并行微加工的可行性进行了讨论。关键词：飞秒激光；并行；微加工；玻璃Micro-fabricationbyfemtosecondlaserpulseshasmanyadvantages．Thereisnearlynoheateffectsintheprocessoffabricationfortheultra-shortpluseduration．Thedevicewillbelocalizedpreciselyintheinteractionalregion．Andthefemt

7、osecondlaserpulsesCanbeusedastheSOurCeofmicro·fabricationforitsultra-highpowerinmanymaterials，suchasmetals，silica,andSOon．Fortransparentmaterials，thefemtosecondlaserpulsescanbeusedtofabricatethreedimensionalandfleedesigndevices．Withthedevelopmentofthemicr

8、o-fabricationtechnologybyfemtosecondlaserpulses，thetwoproblemsbecomeclearandclear．Oneisasymmetryofcross—sectioninperpendicularfabrication；theotheristhelowfabricationefficiency．Accordingtothesetwoproblems，thisdissert