薄膜材料与技术-1课件

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1、薄膜材料与技术（1）李美成2006秋季学期1教材参考书《电子薄膜材料》，曲喜新等编著，科学出版社，1997年11月《薄膜科学与技术手册》，田民波、刘德令编著，机械工业出版社，1991年《薄膜技术》，王力衡、黄运添、郑海涛著，清华大学出版社，1991年《薄膜材料与薄膜技术》，郑伟涛等编著，化学工业出版社，2004年《薄膜物理学》，L.埃克托瓦，科学出版社，1986年ElectronicThinFilmScience，MacmillanPublishingCompany，1992AnIntroducti

2、ontoPhysicsandTechnologyofThinFilms，WorldScientificPublishingCompany，1994HandbookofThinFilmDepositionProcessesandTechniques:Principles,Methods,EquipmentandApplications,NoyesPublications,ParkRidge,NewJersey,U.S.A.,1988NanoscalePhenomenainFerroelectricTh

3、infilms,KluwerAcademicPublishers,2004薄膜材料与技术薄膜材料与技术2中文期刊中文期刊中国科学中国科学科学通报科学通报功能材料功能材料功能材料与器件学报功能材料与器件学报红外与毫米波学报红外与毫米波学报激光与红外激光与红外半导体学报半导体学报半导体光电半导体光电稀有金属材料与工程稀有金属材料与工程薄膜材料与技术薄膜材料与技术3英文期刊英文期刊ThinSolidFilmsThinSolidFilmsSurfaceScienceSurfaceScienceSurface

4、andCoatingsTechnologySurfaceandCoatingsTechnologyAppliedSurfaceScienceAppliedSurfaceScienceAdvancedMaterialsAdvancedMaterialsJournalofVacuumScienceandJournalofVacuumScienceandTechnology,B:SurfaceandfilmsTechnology,B:SurfaceandfilmsJournalofElectronicMa

5、terialsJournalofElectronicMaterialsMaterialsChemistryandPhysicsMaterialsChemistryandPhysicsNatureNature薄膜材料与技术薄膜材料与技术4学习目的和基本要求学习目的和基本要求掌握真空及薄膜的物理基础，对真空、气体放掌握真空及薄膜的物理基础，对真空、气体放电、离子溅射、薄膜生长等有较深入的了解；电、离子溅射、薄膜生长等有较深入的了解；掌握真空蒸镀、磁控溅射、化学气相沉积、分子束外延基本工艺，对薄膜技术有全

6、面了解；重点了解几种薄膜材料，对各种类型薄膜材料的制备、结构、性能及应用有系统的了解。能够使用薄膜材料的设备，分析多种类型薄膜的性能，并具备制备新材料的能力。薄膜材料与技术薄膜材料与技术5课程简介课程简介自上世纪七十年代以来，薄膜技术与薄膜材料得自上世纪七十年代以来，薄膜技术与薄膜材料得到突飞猛进的发展，无论在学术上还是在实际应到突飞猛进的发展，无论在学术上还是在实际应用中都取得了丰硕的成果，并已成为当代用中都取得了丰硕的成果，并已成为当代真空科真空科学与技术学与技术和和材料科学材料科学中最活跃的研

7、究领域，在高中最活跃的研究领域，在高新技术产业中具有举足轻重的作用。新技术产业中具有举足轻重的作用。薄膜技术、薄膜材料、表面科学相结合推动了薄薄膜技术、薄膜材料、表面科学相结合推动了薄膜产品全方位的开发与应用。膜产品全方位的开发与应用。本课程包括本课程包括真空及薄膜的物理基础真空及薄膜的物理基础、、薄膜工艺薄膜工艺及及薄膜材料薄膜材料等三部分主要内容。等三部分主要内容。薄膜材料与技术薄膜材料与技术6第一章绪论薄膜材料与技术薄膜材料与技术7第二章真空技术基础2.1真空的基本知识2.2稀薄气体的基本性质

8、2.3真空的获得2.4真空的测量2.5实用真空系统薄膜材料与技术薄膜材料与技术8第三章气体放电和低温等离子体3.1低温等离子体3.2低气压气体放电3.3气体的激发和电离3.4气体放电的基本特点3.5辉光放电的特性3.6弧光放电的特性薄膜材料与技术薄膜材料与技术9第四章真空蒸发镀膜法4.1真空蒸发原理4.2蒸发源的蒸发特性及膜厚分布4.3蒸发源的类型4.4合金及化合物的蒸发4.5膜厚和淀积速率的测量与监控薄膜材料与技术薄膜材料与技术10第五章溅射镀膜法5.1溅射镀膜的特