全自动精密划片机控制软件的研究与设计

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1、学校代号10532学号S1502W0121分类号TG659密级公开工程硕士学位论文全自动精密划片机控制软件的研究与设计学位申请人姓名张俊杰培养单位机械与运载工程学院导师姓名及职称尹韶辉教授叶青山高工学科专业机械工程研究方向智能制造技术及装备论文提交日期2018年4月23日学校代号：10532学号：S1502W0121密级：公开湖南大学硕士学位论文全自动精密划片机控制软件的研究与设计学位申请人姓名：张俊杰宇导师姓名及职称：尹韶辉教授叶青山高工培养单位：机械与运载工程学院专业名称：机械工程院论文提交日期：2018年4月23日日论文答辩日期：2018年5月19

2、日答辩委员会主席：于德介教授授ResearchandDevelopmentofAutomaticPreciseDicingMachine’sControlSoftwarebyZHANGJunjieB.E.(WuhanUniversityofTechnology)2015AthesissubmittedinpartialsatisfactionoftheRequirementsforthedegreeofMasterofEngineeringinMechanicalEngineeringintheGraduateSchoolofHunanUniversit

3、ySupervisorProfessorYINShaohuiSeniorEngineerYEQingshanMay，2018湖南大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部门或机构送交

4、论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权湖南大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于1、保密□，在年解密后适用本授权书。2、不保密。(请在以上相应方框内打“√”)作者签名：日期：年月日导师签名：日期：年月日I全自动精密划片机控制软件的研究与设计摘要随着半导体工业的飞速发展，集成电路芯片种类越来越多，精度要求越来越高，晶圆尺寸也越来越大，对划片机控制软件要求也越来越高，需要控制软件做到界面友好，操作简单，灵活性强，兼容性高，还需要具备自动识别对准功能，同

5、时最重要的是要求软件能够提高划切效率和划切精度。本文以全自动划片机的控制软件设计为目标，文中确定了软件的整体设计方案和模块化设计思路，通过面向对象的编程技术完成控制软件设计，研究内容主要包括以下几个方面：（1）进行软件功能的定制。结合晶圆生产工艺需要、划片机的工作原理和结构组成，进行控制软件的需求分析，采用面向对象的程序设计语言C#在Windows7平台下进行控制程序的开发，可根据客户的要求，方便增加和定制特殊功能。（2）进行软件模块的划分。采用模块化设计方法，设计出多个相对独立的功能单元，在主控单元模块的协调下，相互配合实现各种功能。主要包括有数据管理

6、、运动控制、图像处理、人机交互、故障处理、误差补偿、多线程控制。（3）进行软件结构的设计。控制系统采用主从式控制结构，工业控制计算机作为上位控制单元，以Pmac运动控制卡、图像采集卡、光源控制器作为下位控制单元。通过调用运动控制卡库函数和视觉系统库函数分别进行运动控制指令和图像处理指令的编写，以及进行串口通信程序指令的编写，并将它们整合到控制软件中。（4）根据编程语言特点编写软件。采用面向对象的数据结构化设计和类模板编程方法，实现了划片机软件对于加工材料工艺参数变化的良好适应能力，针对不同材料可以方便地进行参数的填写以适应复杂的加工工艺要求。本文研究的控

7、制软件已应用于全自动划片机上，该划片机已投入生产使用，主要用于LED、IC、晶圆的切割加工，能够满足半导体用户方便、可靠、高效的使用需求。同时，这款设备还能够进行玻璃、陶瓷、蓝宝石的划切，具有良好的市场应用前景。关键词：划片机;运动控制;图像处理;面向对象编程II工程硕士学位论文AbstractWiththerapiddevelopmentofthesemiconductorindustry,therearemoreandmorekindsofintegratedcircuitchips,theaccuracyrequirementbecamehighe

8、randthesizeofwaferbecamebigger.Therefore