用于离子束抛光的射频离子源控制器设计与性能测试研究

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1、分类号TH741学号13033149ＵＤＣ密级公开工学硕士学位论文用于离子束抛光的射频离子源控制器设计与性能测试研究硕士生姓名谌贵阳学科专业机械工程研究方向精密工程指导教师解旭辉研究员国防科学技术大学研究生院二〇一六年十一月ControllerDesignandPropertyTestforRadioFrequencyIonSourceUsedinIonBeamFiguringCandidate：ChenGuiyangSupervisor：XieXuhuiAdissertationSubmittedi

2、npartialfulfillmentoftherequirementsforthedegreeofMasterofEngineeringinMechanicalEngineeringGraduateSchoolofNationalUniversityofDefenseTechnologyChangsha，Hunan，P.R.ChinaNovember，2016国防科学技术大学研究生院硕士学位论文目录摘要.................................................

3、..............................................................................iABSTRACT.....................................................................................................................ii第一章绪论..........................................

4、.........................................................................11.1课题的来源与意义..........................................................................................11.1.1课题的来源...................................................................

5、........................11.1.2课题研究的背景与意义.......................................................................11.2国内外研究现状..............................................................................................31.2.1国外研究现状.........................

6、................................................................31.2.2国内研究现状.........................................................................................51.3论文的主要研究内容...........................................................................

7、...........5第二章射频离子源工作原理与控制器设计...............................................................72.1射频离子源工作原理......................................................................................72.1.1工作原理...................................................

8、...............................................72.1.2射频离子源结构.....................................................................................82.2控制器设计...........................................................................