微细群电极的加工及其封装技术

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1、《电加工与模具》"%%R年第!期设计·研究微细群电极的加工及其封装技术曾伟梁!,",王振龙!(!#哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨!$%%%!;"#哈尔滨师范大学信息科学系,黑龙江哈尔滨!$%%"$)摘要:介绍了微细群电极的应用情况,分别给出了&’()方法、电火花超声复合反拷加工法和电火花线切割加工法制作群电极的工作原理,并对这些工艺的特点进行了归纳,给出了具有代表性的加工实例,最后介绍了微细群电极的封装技术。关键词:微细群电极;&’();电火花加工;封装中图分类号:*(++!!""#$%&’$()(

2、*+$%,(-.#.%’,(/.!,,&0&)/$’1+&%2$)$)34)%&"15#&’$()6.%2)(#(30,-./0-1213./!,",03./,4-.25./!(!#63781.’.9:;<7=5>*-?4.525/=,63781.!$%%%!,@41.3;"#63781.A57B32C.1D-7;1<=,63781.!$%%"$,@41.3)!71’,&%’:*4-9->1.1<15.5>B1?75E-2-?<759-3773=1;/1D-.,1<;?5.?7-<-3FF21?3<15.1;

3、F7-;-.<-9#*4-G57H1./B-?43.1;B5><-?4.525/1-;>57B1?75E-2-?<759-3773=>3871?3<15.,1.?2:9-&’(),B1?75EIJK-.43.?-98=:2<73;5.1?D1873<15.3.9B1?75E0IJK,37-1.<759:?-9,<4-1739D3.<3/-;3.991;39ED3.<3/-;37-;:BB-9:F,7-F7-;-.<3<1D-B3?41.1./-L3BF2-;37-/1D-.#)<23;<,<4--.?3F;:

4、23<15.<-?4.525/=5>B1?75E-2-?<759-3773=1;1.<759:?-9#8.09(,/1:B1?75E-2-?<759-3773=;&’();IJK;-.?3F;:23<15.微细群电极是指单电极直径在!%%以下、已应用到了临床上。例如,深度脑刺激植入技术通!B排列规则的若干电极集合。微细群电极主要应用在过输入影响大脑活动的信号来减轻帕金森氏病人的生命科学和微细群孔加工两个领域,特别是在生命痛苦;听觉损伤修补术则是通过刺激外围听觉神经科学领域中,它可以用于记录大脑皮层神经细胞活(

5、例如耳蜗)来恢复或部分恢复听觉,这种技术已被准许用于临床并治疗了成千上万耳聋病人[S],运用动,破解大脑行为指令,帮助治疗脑损伤疾病,对生命科学的发展和人类健康起了巨大的推动作MK’技术刺激盲人大脑视觉皮层的神经细胞,他的用[!"+]。相对而言,国内在这方面的研究较少,有视觉功能可部分得以恢复。总之MK’技术在临床些内容甚至是空白,因此有必要借鉴国外最新成果,上的应用能够极大地提高人们的生活质量。以推动我国微细群电极研究工作的发展。大脑皮层的活动决定人的行为意愿和感知获取功能的观点广为人们接受["],因此恢复

6、因为肌肉退!微细群电极的应用化、受打击而损伤的脊髓神经功能的MK’装置研究是一个非常吸引人的潜在领域。在类人猿身体上的:#:生命科学上的运用近年来,人体医学方面的大脑E机器界面(MK’)实验研究表明,通过记录一些(R"S%个)位于大脑技术研究在不断发展[!,"],许多和大脑有关的装置运动皮层(K!)上神经细胞的活动,可以预测手臂的运动意图[P]。虽然关于不同行为意愿之所以产生收稿日期:"%%+N%ON"P的许多问题还不被人们所了解,但是MK’在临床上第一作者简介:曾伟梁,男,!QRR年生,博士研究生。的应用要

7、求成千上万个神经细胞同时被采样,却是—+—设计·研究《电加工与模具》"55:年第!期被普遍承认的事实[!]。脑皮层记录装置已频繁地用日本松下电器产业公司的=>1’’?+’&;@;+;*;使被用在类人猿和其他动物身上进行神经系统的科学用单电极直径为"5的"53"5微细群电极,在松"(研究,这些装置必须从许多记录位置上(通常是一片下$ABCD:"E微细电火花加工机床上制作穿透的栅格区域)收集信号。需要记录的神经细胞数目的群孔,加工材料为F5厚的不锈钢片,需时约F"(增加导致了微细群电极的发展["!#],微细群电极

8、可[2]。(’1,效率大约是单电极加工的"5!75倍以用预先设置的排列方式捕获一片区域内所有的神但是群电极打孔的放电间隙比单电极打孔要经信号。大。单电极高速旋转打孔时的放电间隙为"!7$%&的&’()*+,-./)0)1)00等人利用微细群"(,而群电极打孔由于不能旋转导致排屑困难,其电极对老鼠大脑皮层的神经细胞抑制和兴奋的活动放电间隙在F!#之间,所以单电极直径为"5"(情况进行了研究,收到了很好

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