WO3薄膜的制备及特性研究

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1、电子科技大学硕士学位论文WO<,3>薄膜的制备及特性研究姓名：陈曦申请学位级别：硕士专业：材料物理与化学指导教师：蒋亚东20050301电于科授犬学坝士论文中文摘要本文采用真空镀膜工艺分别在微晶玻璃衬底上沉积了金叉指电极和w0。薄膜，在实验中wO。薄膜分别在300‘C--600。C范围内进行了退火热处理。实验中采用SEM、XRD、AFM等手段对制各的wO。薄膜进行了分析。分析表明，随着退火热处理温度的升高，wO。晶粒逐渐增大，并逐渐从非晶态向晶态转变，最终得到了六方结构并且是在方向上择优取向的wO。薄膜，获得了稳定性较好的工艺条件。最后对wO。敏感膜进

2、行了湿度及N0。敏感特性测试，在分析退火温度对w0。薄膜湿敏特性和NO。敏感特性造成的影响中发现：退火温度为500℃样品和退火温度600℃为样品都随着相对湿度升高，阻值变小，变化规律与感湿机理是一致的。元件对于NO。的敏感性很大程度上依靠元件的热处理条件和工作温度，退火热处理温度为600℃、工作温度为200℃的元件有较好的敏感特性。关键词：氧化钨薄膜，真空蒸发镀膜，退火热处理，NO。，SEM，XRD，AFM电子科技大学硕士论文ApairofinterdigitatedAu—filmelectrodesandW03thinfilmsweredepositedong

3、lassceramicssubstratesbyvacuumthermalevaporationandthenannealedattemperaturebetween300。C--600。C．Xraydiffraction(X_RD)andScanelectronicmicroscope(SEM)wereusedtoanalysisthestructureoftheacquiredW03thinfilms．Itisshownthatthecrystallitephaseandthemeangrainsizechangedconsiderablywiththech

4、angeoftheannealingtemperature．Astheannealingtemperatureincreased，thegeneralcrystallitesizeconsiderablyincreased，andtheW03thinamorphousfilmsbegantocrystallize．AndfinallywegotW03thinfilmswithhexagonalstructure，whichgrewpreferentiallyonthedirection<100>．FinallythehumidityandN02responseo

5、fW03sensingthinfilmshadbeenmeasuredandtheinfluenceofannealedtemperaturetothehumidityandN02responseofW03sensingthinfilmshadbeenanalyzed．Resistanceofbothsamplesdecreasesasenvironmentalhumidityincreases，inaccordancewiththetheoryofW03thinfilm’Shumiditysensitivity．Annealingconditionsandwo

6、rkingtemperaturesplaysanimportantroleinitsN02sensitivitycharacteristic，theoptimumannealingtemperatureresultedtobe600。C，theoptimumworkingtemperaturesresultedtobe200℃．Keywords：W03thinfdms，vacuumthermalevaporation，annealed，N02，SEM。XRD，AFMII独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，

7、除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。签名：j么日期：2口口歹年／月2钼关于论文使用授权的说明本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文

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