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1、第33卷第8期电子元件与材料Vol.33No.82014年8月ELECTRONICCOMPONENTSANDMATERIALSAug.2014综述氮化铝陶瓷湿法成型的研究进展11123郭坚，孙永健，杨海燕，王雪，丘泰（1.北京大学工学院，北京100871；2.北京大学工学院包头研究院，内蒙古包头010430；3.南京工业大学材料科学与工程学院，江苏南京210009）摘要:氮化铝（AlN）陶瓷具有优良的热、电、力、光学性能，具有广阔的应用前景，已经引起了国内外研究者的广泛关注。AlN陶瓷的湿法成型是近几年的研究重
2、点，论述了流延成型、注射成型和注凝成型的原理以及这三种成型技术在AlN陶瓷制备中的研究进展。指出了目前AlN陶瓷制备方法中存在的问题，并对AlN陶瓷湿法成型技术的研究趋势进行了展望。关键词:氮化铝陶瓷；流延成型；综述；注射成型；注凝成型；研究趋势doi:10.3969/j.issn.1001-2028.2014.08.003中图分类号:TQ174文献标识码:A文章编号:1001-2028（2014）08-0012-06ResearchprogressinwetmouldingprocessofAlNcerami
3、cs11123GUOJian,SUNYongjian,YANGHaiyan,WANGXue,QIUTai(1.CollegeofEngineering,PekingUniversity,Beijing100871,China;2.InstituteofEngineering(Baotou),CollegeofEngineering,PekingUniversity,Baotou010430,NeimengguZizhiqu,China;3.CollegeofMaterialsScienceandEngineer
4、ing,NanjingUniversityofTechnology,Nanjing210009,China)Abstract:Aluminumnitride(AlN)ceramicshavewideapplicationprospectandreceiveaconsiderableattentionowingtotheirexcellentphysicalpropertieslikethermalproperties,electricalproperties,mechanicalpropertiesandopt
5、icalproperties.Wetmouldingprocessofaluminumnitrideceramicsbecomeresearchfocusinrecentyears.Themechanismandresearchprogressoftapecasting,injectionmoldingandgelcastingofAlNceramicsarereviewed,andtheproblemsoftapecasting,injectionmoldingandgelcastingofAlNcerami
6、csarediscussed.Theresearchtrendsintapecasting,injectionmoldingandgelcastingofAlNceramicsarealsopredictedatthesametime.Keywords:AlNceramics;tapecasting;review;injectionmolding;gelcasting;researchtrendsAlN陶瓷具有优良的绝缘性、导热性、耐高温单、生产效率高、成本低和可制备复杂形状制品等性、耐腐蚀性以及与硅的热膨胀系
7、数相匹配等优点，优点，易于工业化推广。成为新一代大规模集成电路、半导体模块电路及大随着工业技术的高速发展，传统的成型方法已[1-6]功率器件的理想散热和封装材料。成型工艺是陶难以满足人们对陶瓷材料在性能和形状方面的要瓷制备的关键技术，是提高产品性能和降低生产成求。陶瓷的湿法成型近年来成为研究的重点，笔者本的重要环节之一。陶瓷的成型工艺主要有：干法主要论述了AlN陶瓷湿法成型的研究进展，分析了成型和湿法成型。干法成型包括普通模压成型和冷流延成型、注射成型和注凝成型的原理和优缺点。等静压成型。湿法成型包括流延成型、
8、注浆成型、1AlN陶瓷的流延成型注射成型和注凝成型等。普通模压成型虽然可实现[7-8]批量化生产，但是制品形状简单；冷等静压成型成流延成型技术由Howat首次提出并成功地将本较高，不适合工业化推广。湿法成型具有工艺简其应用于微波介质陶瓷多层电容器的制备，其英文收稿日期：2014-05-09通讯作者：孙永健基金项目：国家自然科学基金资助项目（No.61006035；No.61076012
