Xray原理及应用(NEW)

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1、荧光X射线镀层厚度测量仪-----原理和应用精工电子纳米科技有限公司内容1.电镀的种类2.荧光X射线镀层厚度测量仪介绍3.SFT特征4.质量控制和成本管理5.总结1PDFcreatedwithpdfFactoryProtrialversionwww.pdffactory.com电镀的种类镀层厚度目的主要的对象元素范围装饰品的Cr,Rh,Pd,Ni约0.1mm装饰性外装部分Au,AuAlloy0.1-5mm机械零件的含Cr有机涂层约0.1mm防蚀性外装部分Zn-Ni,Zn,Sn-Zn约10mmCr,Ti,Pd,Ag,Sn,Au0.005-5mm电子零件的Ni,Cu1-20mm电

2、极部分Sn-Pb1-50mm功能性机械零件Ni-P5-20mmTiN1-5mm工具的刀尖仪器系列SEA5000SFT9300SFT9200价SFT9100格基本性能2PDFcreatedwithpdfFactoryProtrialversionwww.pdffactory.comCu(Z=29)原子核层层层层一次X射线被放出的电子放射出来的X射线荧光X射线如何产(特性X射线)生?SFT仪器结构介绍CCD画面X射线管准直器线射镜子X光荧X-Y-Z样品台3PDFcreatedwithpdfFactoryProtrialversionwww.pdffactory.com能谱图X方向

3、—能量（KeV)Y方向—强度（cps)照射Ｘ射线荧光Ｘ射线强度Au镀层厚度镀层厚度的测量原理4PDFcreatedwithpdfFactoryProtrialversionwww.pdffactory.com检量线1.X线强度与镀层厚度成对数关系。2.通过测定已知厚度标样，得到强度值，进而建立检量线。3.测量未知厚度样品，得到强度值，通过检量线，算出厚度值。单层标准曲线根据标准物质的测量，可用标准曲线求得镀层厚度及组成和X射线強度的关系。参考：SFTQ&ANo.25PDFcreatedwithpdfFactoryProtrialversionwww.pdffactory.co

4、mSFT技术特征①非破坏及非接触质量管理②纵方向的分析膜厚测量③不需要前处理研磨(WDXRF)、蒸镀(EPMA)④定性分析容易元素组成SFT镀层厚度测量特征测量范围0.001-100mm方式非破坏非接触测量面积0.03-2mmF精度<10%测量时间10-30秒多层OK合金层OK个人差异小6PDFcreatedwithpdfFactoryProtrialversionwww.pdffactory.com精工SFT产品的特征★自动能量校正★多种X射线光束尺寸★自动设定测量条件★激光点自动对焦★非破坏及非接触之分析★中文版操作软件★备有并可提供300种以上的标准样品自动测量条件设定

5、FP法检量法7PDFcreatedwithpdfFactoryProtrialversionwww.pdffactory.com中文版操作软件日本精工所具备的镀层厚度测量用之标准样品Au:(0.05μm)(0.1μm)(0.25μm)(0.5μm)(1μm)(2μm)(3μm)(4μm)(5μm)Cu:(0.25μm)(0.5μm)(1μm)(2μm)(5μm)(10μm)(20μm)(35μm)Pd:(0.1μm)(0.25μm)(1μm)(2μm)(3μm)(5μm)(8μm)(12.5μm)Cr:(0.05μm)(0.1μm)(0.25μm)(0.5μm)(1μm)(2

6、μm)(5μm)(10μm)Al:(0.8μm)(5μm)(8μm)(12.5μm)(25μm)Ni:(0.25μm)(0.5μm)(1μm)(2μm)(2.5μm)(5μm)(10μm)(20μm)(27.5μm)Ag:(0.1μm)(0.25μm)(1μm)(2μm)(5μm)(10μm)(20μm)(50μm)Sn:(0.25μm)(0.5μm)(1μm)(2μm)(5μm)(10μm)(20μm)(50μm)Ti:(0.5μm)(1μm)(5μm)(10μm)Pt:(0.5μm)(1μm)(4μm)(5μm)In:(5μm)(10μm)(15μm)Mo:(4μm)(1

7、0μm)(20μm),etc.,8PDFcreatedwithpdfFactoryProtrialversionwww.pdffactory.com精工电子纳米科技有限公司试验所2002年10月ISISO/IEC17025取得认证！!认证范围认证机构：日本适合性认证协会（JAB)M25机械・物理试验M25.80测量M25.80.2厚度M25.80.1质量法对应规格TL504-B-003M25.80.2荧光X射线方式试验法对应规格JISH8501139PDFcreatedwithpdfFactoryPro