超声处理对SU8胶与金属基底粘附性的影响

《超声处理对SU8胶与金属基底粘附性的影响》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、硕士学位论文超声处理对SU一8胶与金属基底粘附性的影响EffectofUltrasonicTreatmentonAdhesionbetweenSU．8PhotoresistandMetalSubstrate国家自然科学基金(NO．51075057，50675025)资助国家863高科技研究发展计划项目(NO．2012AA040406)资助作者姓名：．赵翅翅学科、专业：扭越生』造拯基自动丝学号：21004060指导教师：完成日期：杜立群2013．5．5大连理工大学DalianUniversityofTechnologylIlllllllllllllllllllllllllllllllll

2、[1l—Y2417813大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研冤工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用内容和致谢的地方外’本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果，也不包含其他已申请学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。若有不实之处，本人愿意承担相关法律责任。学位论文题目：趄直缝堡盟型幽必型亚纠龟型萱幽盟隆盥显}作者签名：赵绷忙日期：j堕年』月卜日人连理jI=人学硕士!学位论文摘要SU．8光刻胶是-koo负性光刻胶，在紫外光下有很好的光刻特性。近年来，SU．8

3、光刻胶在制作高深宽比的微结构和微器件方面取得了不少成果，引起了广泛关注。然而，SU．8胶与金属基底的粘附性低会导致胶体与基体问的结合失败，进而使胶体从金属基底上脱落，制约了SU．8胶图形分辨率和深宽比的提高。但是，目前对于如何提高SU一8胶粘附性的研究多集中在改善工艺参数、优化掩膜版设计和化学改性上。本文旨在通过超声处理技术提高SU。8胶与金属基底的粘附性，分析了超声输入功率对SU一8胶与金属基底粘附性的影响。提出了一种通过超声处理提高SU一8胶与金属基底粘附性的方法，这种方法的优点是有效地避免了先前过多依赖实验提高胶层与金属基底的粘附性的方法，大大地节省了实验成本和时间。本文从超声处

4、理减小SU．8胶层内应力的角度，分析了超声处理提高SU．8胶与金属基底粘附性的机理，认为胶层内应力是影响胶层与金属基底粘附性的主要因素。通过超声处理可以有效的消除交联网的缺陷，降低胶层内应力，从而提高SU．8胶与金属基底的粘附性。实验研究了不同超声输入功率对SU。8胶与金属基底粘附性的影响，采用划痕实验定量的测量了超声处理前后胶层与基底粘附能的变化情况，实验结果表明超声处理可以提高SU．8胶层与金属基底的粘附性，且超声输入功率越大，SU一8胶层与金属基底粘附能越大，粘附性越好。关键词：超声处理；SU一8光刻胶；金属基底；划痕法；粘附性；内应力超声处理对SU_8胶与金属基底粘附性的影响E

5、￡fectofUltrasonicTreatmentonAdhesionbetweenSU一8PhotoresistandMetalSubstrateAbstractSU一8photoresistisanegative，epoxy—type，nearUVphotoresistandiscommonlyusedinmicroelectromechanicalsystems(MEMS)andotherthickresistapplicationfields．However，pooradhesionstrengthbetweenSU一8photoresistandmetalsubstrate

6、makesitdifficulttobind，evencontributestothelithographyfailure．Thissignificantlyrestrictstheimprovementofimageresolutionanddepth—to—widthratio．Atpresent，theresearchesontheadhesionstrengthbetweenSU一8photoresistandmetalsubstratemostlyfocusontheimprovementandtheoptimizationoftheprocessparametersorth

7、edesignofthemask，orchemicalmodification．Inthispaper，ultrasonictreatmenttechnologyisadoptedfortheenhancementoftheadhesionpropertybetweenSU一8photoresistandmetalsubstrateandtheeffectofultrasonicinputpoweroninterfaceadhesionstre