丰宁全自动倒角机技术说明书

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1、D37-378/YL型全自动硅片倒角机技术说明书天津丰宁机电制品有限公司４５目录1.设备设计说明。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。3页1.1.设备用途。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。3页1.2规格与性能。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。3页1.3工作原理。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。9页1.4结构特点。。。。。。。。。。。。。。

2、。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。10页2.使用操作说明。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。11页2.1设备的安装调试。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。11页2.2设备的操作规程。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。12页2.3设备的安全规范。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。12页3.设备维修保养。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。

3、。。。。。。12页3.1设备的日常保养。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。13页3.2备品备件。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。13页4．电气控制系统。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。13页4.1电气系统构成。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。13页4.2电气系统操作。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。14页4.3电气系统

4、维护。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。41页４５1.设备设计说明(内容包含:设备的用途；规格与性能；工作原理；结构特点等)1.1.设备用途：本设备主要用于半导体硅片的边缘处理。对多种规格的硅片，按照给定的轨迹，实现对硅片外圆的精确自动加工倒角。设备能够通过软件的设置，可靠的机电控制执行元件及精确动力传动机构，自动化实现对不同规格的单晶硅片外圆，自动化实现精确加工倒角。1.2规格与性能1.2.1单晶硅片外圆直径3＂4＂5＂6＂；具有加工带OF面的硅片（0º，45º，90º，135

5、º，180º处，最多出现两个参考面），；硅片厚度为0.2~2mm;倒角的外形由加工砂轮的槽形决定1.2.2设备运行形式:连续运行。1.2.3加工效率：每片1~2分钟1.2.4环境温度：5ºC~50ºC1.2.5噪声:<75dB1.2.6动力供给：输入电源:三相五线电压:380V频率:50Hz总功率:5KVA1.2.7压缩空气：≥0.5Mpa1.2.8工业纯水:≥0.1Mpa1.2.9总重量:约1.5吨1.2.10外形尺寸:1750*900*1700４５1.2.11详细参数表：NO项目规格标准备注1晶圆尺寸Ф3"~Ф6

6、"Ο　2晶圆结晶轴形状OFΟ　3材质硅Ο　化合物半导体Ο　4晶圆厚度0.2~2mmΟ　5装载部分.卸载部分料盒国际通用Ο　盒规格槽间距4.767mmΟ可设定参数槽数25槽Ο　盒数单盒Ο　自动机规格回转轴有效角度180°Ο　回转轴驱动方式气动Ο　伸缩轴有效行程300mmΟ可设定参数４５伸缩轴驱动方式AC伺服马达Ο　上下轴有效行程17mmΟ　上下驱动方式AC伺服马达Ο　晶圆保持真空吸着Ο　初步找正胶辊旋转定位Ο　驱动方式直流电机Ο　6精细调整部分调整方式接触式Ο　调整器件电子尺，磁开关Ο　控制精度0.013mmΟ　调整精

7、度±0.1mmΟ　晶圆搬运方法精细调整后直接送至研磨台Ο真空吸着驱动方式气动Ο齿轮齿条，导轨，导杆8研磨部分直径Ф200mmΟ　４５使用研磨轮整体厚度T=20mmΟ　厚度T=14mmΟ　安装孔尺寸Ф30mmΟ　砂轮最高转速3200r/minΟ1500r/min~3200r/min无极变频调速驱动2极三相异步电动机Ο0.75KW,380V研磨轴数　Ο　X轴驱动方式AC伺服电机Ο丝杆传动导程t=5mm控制精度2μmΟ　重复精度±3μmΟ　行程66mmΟ　Z轴驱动方式AC伺服电机Ο丝杆传动导程t=5mm　控制精度2μmΟ　

8、重复精度±3μmΟ　行程15mmΟ　θ轴驱动方式AC伺服电机Ο　控制精度±3"Ο　运行方式360度回转Ο　４５使用转速范围0.5r~5r/minΟ　冷却纯水Ο　排水下部软管至排水沟Ο　9研磨台Ф3"，Ф4"　　Ф5"，Ф6"　　10晶圆搬运搬运臂规格回转轴有效角度180°Ο　回转轴驱动方式空气圆筒Ο　上下轴有效行程85mm，20mmΟ　上下轴驱