光学样板的精度和其工艺保证

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1、关于光学样板的精度及其工艺保证赵俊氏西拓尤学仪器厂提要。光学样板是光学零件制造过程中用来检脸光学零件面形误差的一种基本量具本,文简述了光学样板的精度等级及误差分布规律业指出了制造级标准样板时可。。采用的某些加工方法提示了正确给定样板光圈对象质的影响一,,在光学零件制造过程中自夫琅和费首先利用光波于涉原理制造了既简单而实用的光学样板,,,以来虽然人们总想设法取代这一因精度要求高而加工困难的光学样板但是在经,。,济简便方而直到现在还没有找到一种能够完全胜过它的理想方法目前尽管已经出现了,,。全息样板利用全息图

2、对光学零件进行非接触检验但要想投入实际应用为时尚早因,,,。此对光学样板的精度分布规律和一些基本加工方法作一探讨裨益生产还是很必要的,,而且光学样板分为标准样板和工作样板两类前者是制造工作样板的依据为保证曲率,。半径和表面形状的准确标准样板必须成对制造故亦称对板而后者则是直接用于检验,,。光学零件即测定光学零件曲率半径和表面形状的基本量具俗称样板光。、学样板的精度是光学零件加工的首要因素考虑到光学系统的成象质量生产效率与,、。经济性在国家标准!∀#∃%&一∋(中规定了∀两个精度等纵表#表#)球而标准样

3、板的曲率半径允差∗曲率半径+毫米一。。,。,。,。。,。,。,。。,。,。。。,。。。,。。。八精度,)】、】−,、」、∗、.∗&/./∗/.#&∗0#&.1/#1/.1/&∗1/&.#&&&##&&&.%&&&&∗2允差士2等级∗2222三贾222一一2一竺一一一一迷一一∗+公称尺寸的‘分数匕))))))。。3。一∃。。&∃。&1。41+5,。。。,,∗2,,)),3))63)))·))32⋯⋯、、’2/“&1)⋯’⋯∀。。⋯二—二,3∗1)3,,,二3,万,,,逻竺兰、一2球面样板的曲率

4、半径球而样板的曲率半径数值和光学零件的曲率半径名义值是一致的,它是设计计算出米的。此。半径数值名义值往往要归整到光学表面曲率半径数位系列标准中规定的数值这样一一((一#期光学仪器%卷22、,,,。,‘,、、,,卜,2,),,2,)),22,、,、2222,一介曰&2,.2.一6。二。,,一。8,一.#&。。.击2,一.△+兰9来半’径‘的切允∃差就“有‘6很’大的变化例如根据7标‘准‘就其最密的系列来看其山”“二眺岁六5、’‘6’目。犷切力曰’八刀只”一’刁”脚’扩“5、”,‘一“一.、5,“、目’产、臀..叫

5、+)。)。,。∃1:而通常光学样板的曲率半径允差要求不低于二。&1:二者相比约差一个数等。,,。量级再从几何光学角度来讲对焦距的要求一般也是不太严格的通常其误差为士;:,,但也有某些要求十分严格的零件例如长焦距大孔径照相物镜等其曲率半径的允差要求需达&)&#:,否则。,就要明显地影响成象质量和焦距因此考虑到设计的需要和制造工艺与测、,。量手段的可能性经济性对不同的曲率半径就应给予不同的允差))#+4/.1/区间的半径允差,这一区间的基准凸样板一般都做成超半球或者全球型在制造中多采用指示千分尺或立,。式光学比较仪

6、测量其直径控制半径+的误差其精度一般可达到微米数量级所以本区间的“”。,,半径允差直接以绝对值微米表示如果它们的直径磨制得很规则那末套制出来的工。作凹样板的半径精度一定很高1/<+<圣。&&。区间的半径允差。1/<+<%&&&&区间的样板一般都做成弧形其实际半径通常是先用球径仪测出矢,,。,高再用球径公式换算得出的其允差采用相对误差形式:表示在制造过程中等△+3包括四个方面的误差=;测盆误差△+二>,3由#+全微分得图可求出球径公式箭夸66,,‘、6‘&?#?≅八9一Α一一Β;一十Χ二一气#一一万户丁Χ5ΒΔ

7、Δ“Ε艺Ε3由此可得环形球径仪的测量误差一一⋯金专卜衬丫〕一#一##?、?了∗∗∗Φ、∃矢高制造误差+,整理后可导出将球径公式中的变量微分矢高制造误差32)##、,.一二Χ△+Γ“Η;>万二一污一于于弃一刃么ΕΙ‘#一三三)一#了5?、一ϑ−+;3Ι。式中△Γ一制造标准样板时所控制的矢高偏差一(了一#期光学仪器%卷1标准样板的光圈误差△+Κ∀,、,这是制造标准样板时因凸凹两块样板的半径不可能完全一致而造成的半径偏差用。,,,一△表示欲将其换成曲率半径误差时可对球径公式中的变量Γ微分令?90△Γ殊。;书、’、

8、”声’‘、”,’6’6,一’,“‘’一粤Χ.一“柑,产、.)一一、”一.’、∃一..人四一..一一.Κ人,3变换整理后可得∃2‘2Κ汉,,22222、522卫.)八长Κ“9一上十2,乏一、八Χ了Λ平‘,上一)一一)一;Μ、—ΝΟΠ3Κ3ΧΑ式中一标准样板的光圈数ΘΧ一标准样板的直径Α。久一一波长Κ!%工作样板的光圈误差△+Κ!,则3将换算成半径偏差)‘,、Κ!久了,#凸找Κ!二厄#

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