准分子激光微孔加工技术研究

《准分子激光微孔加工技术研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、摘要准分子激光是以准分予气体作为激添介质褥产生的激光。准分子激光属于紫外波段，波长短，适于商精度的微细加工。同时此波段光波的光子能擞高，鸯H工有机材料时以断裂仡含键为生，热效应影响不大，因此适宣对高聚物进行麴王；但是由予准分子激光器在激励时蛇放电特殊性，光束壤量受到缀大影响，输出的光斑较大，光斑能量分布也均匀，影响了微加工的效果。本文从分析准分子激光器的光束特点出发，对波长为248衄的准分予激光光京憨髓墨分枣骰了猿礁分辑，莰诗趣王了逶予＆F猴分子激光匀豢靛光波导。增加了光斑的能量均匀度，提高了光束的

2、能量密度，微孔加工质鬣得到掇高。分析了目前主要的几种投影物镜系统特点，从光学设计理论出发，豳专业巍学设诗较释z壬㈣糖，§系统魏纯，设计麴王了震予离糁度准分子激懋镀魏加工的倍率为100：l的投影成像物镜。很好地消除了餐种像楚，能够达到lOum缴的微孔加工精度，提高了加工精度。本文遥过分橱影确徽我趣工臻量静潦因，提密藏小锾魏锥废籁增燕徽孔深宽比的掩模旋转钻孔微孔搬王方法。设计了扇形掩模，依摄三辘联动加工台，缎成掩模钻孔加工系统，在此基础上研究了掩横旋转钻孔的加工参数。关键词：准分子激光，光柬质量，光波导

3、，投影物镜北京工业大学理学硕士学位论文AbstractExcim嚣laseris掣嘶ucedbyme蠲sofactiva畦ng也equasi黻oiecde．Exci瑚【erlaserisOfultraviOlet例嘴e、)l，ithshOtwavelengtIl，andissuitablefor协ellignaccumcym{c羚．f曲矗ea_蛀on．Besi＆瞧is，las材of琢is臻热geposs。ssof越gh糕e毽y&珏s主锣珏nd运pronetobeabsorbedbytllepolyT

4、nericmaterial，alldi8sui诅bletoprocess血em．E＆鼬鑫砖氇e越eansofl戚v基o，穗ebe醚鼋髓娃移of掰ost积e溉er18s蹦ispoof，justlike也eroctaIlgIllar题urebe锄andmeunevenenc玛ydens峨bothe脯ctmere则tofmicf小f魏b矗cat主on．Thiswork姐alysesthecharacteTisticofexcimerlaser，anaccuratecnergydis悄butionof协el

5、勰erbe弧wi也、vavelengmof248nmisgiVenout．Dependson也emeofetieanaiysis，designsaholiowwavegllides砸tto谯elasefbe馘1．Asa粥sun，也eoutputene玛ydistributionisimproVed，Satis矗e8thereqllirementofmicro-machining．Dependsonfkanaiysisofc酗糟c矧s耋量csofexei檄erl站ef粼遽氇e谳form矗ysystem

6、swimprojectionobjective，aboveon龇t11eoreticsofo埘cdesign，andmeno砖mi瑟d秘娅辨fessi酬so蠡w勰ZE髓镬，＆si蓼s鑫毯垂黼谨畦撵epf≮e蠢。鑫objectionusedin也eaccur酏巳micr0-machining。Thesystcmeltmina土ethea_bermtionoft如涵蛤gep。lfeelly，鑫nd瓣eet氆e羚平虹fen{e纛￡ofmacb主n主珏gwi攮seVef蠢m沁}。珏s．111iswo嫩ana

7、lyses恤me鼬sof戚cromfab啦ationnowadays，andt11ere船onse懿cttheresmtof戚cro—f

8、ablica畦。娃，西veso_Iltasol蕊on协reduce蜘egradi蝌tand抽1provethedept圭lofmemicro-hole．Desi弘s娃lef颞一sh神edapemH嚣Ir娜k，coopeface谢饿a3．a)【ieswOrI(table，nlalcesuptlleIllicro棚rillingsystem．K斜words：excim

9、erlaser，be锄删姆，holIowwaveguide，pmjectionobjectivell独创性声明本入声嘲所呈交的论文怒我个人在警师指导下避行的研究工作投取褥的研究成果。尽我所知，除了文中特禺Ⅱ加以标波和数谢的地方外，论文巾不包含其他入己筑发辍或撰写j窭的研究戚祭，也不识含为获得北京工激大学溅鼹它教育械褥鲍学经域涯书露使瘸过瓣枣孝精。与我一固童俸黥同志对本研究联徽瓣任鹰贡簸缘悉程谂文孛箨了臻确辩滋溪著表示了谢豢。簸名：日期：》州f《8关予论文使爰授权的说臻