基于ED工艺单刀多掷MMIC开关设计

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1、代号10701学号1078490696分类号TN4密级公开题（中、英文）目基于E/D工艺单刀多掷MMIC开关设计TheDesignofGaAsSinglePoleMulti-throwMMICSwitchesBasedonE/DTechnology作者姓名刘醒辰指导教师姓名、职务胡辉勇教授学科门类工学学科、专业软件工程提交论文日期二○一三年一月西安电子科技大学学位论文独创性声明秉承学校严谨的学风和优良的科学道德，本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外，论文

2、中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果；也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切法律责任。本人签名：日期：西安电子科技大学关于论文使用授权的说明本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件，允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许采用影印、缩印或其它复制手段

3、保存论文。同时本人保证，毕业后结合学位论文研究课题再撰写的文章一律署名单位为西安电子科技大学。（保密的论文在解密后遵守此规定）本学位论文属于保密，在年解密后适用本授权书。本人签名：导师签名：日期：日期：摘要摘要随着科技的进步与经济的发展，MMIC器件得到了越来越广泛的应用。其中GaAsMMIC开关是一种控制微波信号导通与关断的器件，可以用来选择信号的传输与否或者传输路径，在军事和民用领域都扮演着十分重要的角色，如相控阵雷达、蜂窝GSM以及射频通信系统中都可以看到GaAsMMIC开关的身影。本文研究并设计了两款E/D工艺GaAs单刀多掷MMIC

4、开关，具体工作包括开关的原理分析、模型选择、电路设计、电路图仿真和版图仿真，开关用数字驱动电路的设计与仿真，完成了版图绘制并最终流片。通过多次测试，证明研制的GaAsMMIC开关的性能合格，其中单刀四掷开关使用频率为DC~4GHz，插入损耗小于2dB，隔离度大于50dB；单刀八掷开关使用频率为DC~4.5GHz，插入损耗小于2.5dB，隔离度大于33dB，都达到了使用要求。关键词：GaAsMMIC开关E/D工艺基于E/D工艺单刀多掷MMIC开关设计AbstractAbstractWiththeprogressofscienceandtechn

5、ologyandthedevelopmentofeconomy,MMICdeviceshavebeenappliedmoreandmorewidely.Amongwhich,GaAsMMICswitchesaredevicesthatconctrolthemicrowavesignalonoroff,whichcanbeusedtoselectsignaltransmissionornot,andthetransmissionpath,playingaveryimportantroleinnomattermilitaryorcivildoma

6、ins.WecanseeGaAsMMICswitchsinphasedarrayradar,cellularGSMandradiofrequencycommunicationsystem.ThisdissertationstudiesanddesignstwoGaAssinglepolemulti-throwMMICswitchsbasedonE/Dtechnology,Specificworkincludesswitchprincipleanalysis,modelselection,circuitdesign,circuitsimulat

7、ionandelectromagneticsimulation,designandsimulationofdigitaldrivecircuitusedforswitchs,completingthelayoutdrawingandtapeoutsuccessfully.WecanfindthattheperformanceoftheGaAsMMICswitchsinthisdissertationisqualifiedwithtests.TheSP4TMMICswitch’sfrequencyrangeisDC~4GHz,insertion

8、lossislessthan2dB,anditsisolationismorethan50dB;theSP8TMMICswitch’sfrequencyrangei