低温等离子体放电模式及其应用

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1、●●■■●■-_-J■■I■■●■■-JJJJI㈣ⅢIIIIlllllWF28119犬玺UniversityofScienceandTechnologyofChina硕士学-

2、位论文论文题目作者姓名学科专业导师姓名完成时间低温等离子体放电模式及其应用朱晓东教授二。一三年十月中国科学技术大学硕士学位论文低温等离子体放电模式及其应用作者姓名：学科专业：导师姓名：完成时间：张丹丹等离子体物理朱晓东教授二O一三年十月二十一日UniversityofScienceandTechnologyofChinaADissertationforDaster’SD

3、egreeDischargeModesandApplicationoftheLowTemperaturePlasmasAuthor’SName：●●●speciality：^●bupervlsor：1⋯o●‘rrmslaedtime：DandanZhangPlasmaPhysicsProf．XiaodongZhuOct21吼，2013中国科学技术大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成果。除己特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含任何他人已经发表或撰写过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所

4、做的贡献均已在论文中作了明确的说明。作者签名：丛生丑签字日期：加J；．／。．多D中国科学技术大学学位论文授权使用声明作为申请学位的条件之一，学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学拥有学位论文的部分使用权，即：学校有权按有关规定向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，可以将学位论文编入《中国学位论文全文数据库》等有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。保密的学位论文在解密后也遵守此规定。，Ⅵ纶开口保密(——年)作者签名：豫舯签字日期：

5、导师签名：签字日期：冀扛4蝉摘要等离子体物理与应用是一个具有全球性影响的重要的科学与工程，对高科技工业发展及许多传统工业的改造都有着直接的影响。在高新技术领域，低温等离子体具有其他技术无法替代的优势。低温等离子体提供了独特的化学活性环境，被广泛地应用于材料制备、结构制造、表面改性等。在传统工业改造方面，尤其是在能源和环保领域，等离子体应用也日益增多，如节能新工艺、能源化工、煤的气化等。等离子体根据激励方式、工作气压、电极构型等的不同，形成不同的放电模式，而不同的放电模式对应极为广泛的参数范围和特性差异。本文对低温等离子体不同放电模式的物理机制

6、、特征进行了介绍，并对等离子体在实际中的应用进行综述和探讨。在低气压下或者大气压下的直流辉光放电的经典结构位形仍然被广泛使用，但一些新的激励模式，例如利用射频(容性耦合或者感性耦合)、加磁场或者微波激励等也正变得日益重要，这可有效地提高等离子体密度和能量吸收效率。这些不同的激励方式与工作气压和放电位型结合，形成各种各样的等离子体放电模式，尤其是新概念的等离子体放电模式，如微等离子体等。这些不同模式的等离子体在许多领域中被广泛的使用。表面改性(应用于半导体工业或者材料科学)也许是最重要的应用领域。等离子体光源、等离子体显示器方面的应用已经引起了

7、公众的兴趣，如新式的无极灯，避免了电极的损坏，从而提高使用寿命；等离子体可以被开发成大的平板电视屏幕，可以直接作为等离子体显示面板等。等离子体还可以在激光技术中有应用，形成多种基于气体放电的激光技术。关键词：低温等离子体放电模式应用ⅡAbstract——————————————————-——————————————————————————————————一Asasignificantscientificsubjectandengineering，plasmaphysicshasadirectimpactonthehigh-techandtra

8、ditionalindustry．Low-temperatureplasmaplaysallirreplaceableroleintheadvancedtechnology．Duetotheuniquechemicalactiveenvironmentitprovides，lowtemperatureplasmaiswidelyappliedinmaterialspreparation，structuresmanufactureaswellasinsurfacemodification．Moreover,inthetraditionalind

9、ustry,especiallyinenergyandenvkonmentalapplication，plasmashouldnotbeignoredforitsa