低温等离子体产生方法辉光放电.docx

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1、辉光放电(GlowDischarge)辉光放电属于低气压放电(lowpressuredischarge)，工作压力一般都低于10mbar，其构造是在封闭的容器內放置两个平行的电极板，利用电子将中性原子和分子激发，当粒子由激发态(excitedstate)降回至基态(groundstate)时会以光的形式释放出能量。电源可以为直流电源也可以是交流电源。每种气体都有其典型的辉光放电颜色(如下表所示)，荧光灯的发光即为辉光放电。因此，实验时若发现等离子的颜色有误，通常代表气体的纯度有问题，一般为漏气所至。辉

2、光放电是化学等离子体实验的重要工具，但因其受低气压的限制，工业应用难于连续化生产且应用成本高昂，而无法广泛应用于工业制造中。目前的应用范围仅局限于实验室、灯光照明产品和半导体工业等。(Totop)部分气体辉光放电的颜色GasCathodeLayerNegativeGlowPositiveColumnHeNe(neon)ArKrXeH2N2O2Airredyellowpink--red-brownpinkredpinkpinkorangedark-bluegreenorange-greenthin-bl

3、ueblueyellow-whiteblueRed-pinkred-browndark-redblue-purplewhite-greenpinkred-yellowred-yellowred-yellow部分气体的辉光放电实例